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MKS/GE50A彈性密封數字型質量流量控制器

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更新時間：2023-10-23 12:38:27瀏覽次數：248次

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產品簡介

GE50A彈性密封數字型質量流量控制器多氣體，多量程，彈性體密封，5-50,000sccm的質量流量控制器MKSG系列GE50A數字控制質量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I/O

詳細介紹

GE50A彈性密封數字型質量流量控制器

多氣體，多量程，彈性體密封，5-50,000 sccm的質量流量控制器

MKS G系列GE50A數字控制質量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。數字控制電子器件利用的MKS控制算法，可在整個設備控制范圍內對設定點進行快速，可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。數字校準可在校準氣體上產生設定點精度的1％。

· 流量從5到50,000 sccm

· Viton，Buna，氯丁橡膠或Kalrez的密封件和閥塞選項

· 多種數字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 標準閉合電導泄漏率小于滿量程的0.1％

· 少于750毫秒的建立時間

技術指標

類型	質量流量控制器	跨度溫度系數	<0.08％的讀數/°C
控制范圍	滿量程的2％至100％	進氣壓力系數	<讀數的0.02％/ psi
滿量程流量范圍	5-50,000 sccm	典型建立時間	<750毫秒，通常在滿量程的5％以上
密封材料	Viton，Buna-N，氯丁橡膠或Kalrez	熱身時間	30分鐘
模擬連接器	9引腳或15引腳D子級	工作溫度	10°C至50°C
入口壓力	150磅/平方英寸	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結
正常工作壓力差	10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid	貯存溫度	-20°至80°C
耐壓	1000磅/平方英寸	外部泄漏完整性	<1 x 10-09（scc / sec He）
爆破壓力	1500磅/平方英寸	封閉閥的泄漏完整性	在大氣壓力為40 psig時高達10K閥門
典型精度	20至100％滿量程的設定點的±1％，2至20％滿量程的設定點的±0.2％	濕材料	316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，鎳
重復性	讀數的±0.3％	表面處理	平均Ra 16µ英寸
解析度	滿量程的0.1％	重量	3磅（1.4公斤）
零溫度系數	<滿量程的0.05％/°C	合規	CE認證

特征

多種數字和模擬接口選擇

GE50A數字控制MFC可提供模擬或數字I / O。數字控制電子器件采用的MKS控制算法，可在整個設備控制范圍內對設定點提供快速，可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。GE50A的模擬量和數字量I / O可以輕松替代1179A MFC的相同I / O類型。所有GE50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。