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C系列質量流量控制器

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更新時間:2023-10-22 12:52:41瀏覽次數:193次

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C系列質量流量控制器C系列質量流量控制器(MFC)是緊湊且快速響應型,用于非腐蝕性氣體,流量從50SCCM至50SLM,范圍從滿量程0.1%至99%

詳細介紹

C系列質量流量控制器

C系列質量流量控制器(MFC)是緊湊且快速響應型,用于非腐蝕性氣體,流量從50SCCM至50SLM,范圍從滿量程0.1%至99%。控制方式有0至5VDC模擬和RS485,所需電源電壓為24VDC。

C系列質量流量計尺寸為:長5.02英寸(127.5mm),寬1英寸(25.4mm),高4.33英寸(109.98mm),氣路轉接,下載版本及可用。

MEMS低熱式質量傳感器提供快速檢測流量變化和低噪聲輸出,傳感器的固態設計使其能抵抗水凝結粒子,壓力沖擊和振動。

快速響應,寬動態控制范圍,1%精度,在無腐蝕性工藝應用中的佳選擇。用于質譜、真空鍍膜、生物反應及多種應用。

C系列融合了快速反應的電磁控制閥與流量傳感器,通過MFC優化流量耦合信號處理與控制算法,使得響應時間小于100毫秒。

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