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GM50A和GM51A數字控制質量流量控制器

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更新時間:2023-10-20 12:33:05瀏覽次數:304次

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產品簡介

多氣體,多量程,金屬密封,50-50,000sccm的質量流量控制器GM50A和GM51A數字控制質量流量控制器可提供模擬量或RS485,Profibus™,EtherCAT®,PROFINET或DeviceNet™I/O

詳細介紹

多氣體,多量程,金屬密封,50-50,000 sccm的質量流量控制器

GM50A和GM51A數字控制質量流量控制器可提供模擬量或RS485,Profibus™,EtherCAT®,PROFINET或DeviceNet™I / O。數字控制電子器件利用的MKS控制算法,可在整個設備控制范圍內對設定點進行快速,可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。數字校準可在校準氣體上產生設定點精度的1%。

·        流量從5到50,000 sccm

·        金屬密封,帶特氟龍閥塞

·        多種數字(ItherCAT,DeviceNet™,Profibus®,PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA)I / O

·        標準閉合電導泄漏率小于滿量程的1.0%

·        少于750毫秒的建立時間

技術指標

控制范圍

滿量程的2%至100%

進氣壓力系數

<讀數的0.02%/ psi

滿量程流量范圍

5-50000 sccm(相當于N2)

典型建立時間

<750毫秒,通常在滿量程的5%以上

入口壓力

150磅/平方英寸

熱身時間

30分鐘

正常工作壓力差

10至5000 sccm; 10至40 psid,10000至20000 sccm; 15至40 psid,30000至50000 sccm; 25至40 psid

工作溫度

10°C至50°C

耐壓

1000磅/平方英寸

儲存濕度

0至95%相對濕度,無凝結

爆破壓力

1500磅/平方英寸

貯存溫度

-20°至80°C

典型精度

20%至100%滿量程時為設定值的±1%,2%至20%滿量程時為滿量程的±0.2%

外部泄漏完整性

<1 x 10 -09(scc / sec He)

重復性

讀數的±0.3%

封閉閥的泄漏完整性

在大氣壓力為40 psig時高達10K閥門

解析度

滿量程的0.1%

濕材料

316L SS VAR,316 SS,Elgiloy®,鎳,KM45

零溫度系數

<滿量程的0.05%/°C

重量

3磅(1.4公斤)

跨度溫度系數

<0.08%的讀數/°C

合規

CE認證

特征

多種數字和模擬接口選擇

GM50A數字控制MFC具有模擬或數字I / O。數字控制電子器件采用的MKS控制算法,可在整個設備控制范圍內對設定點提供快速,可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。GM50A的模擬和數字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。

標準3英寸占地面積

GM50A利用MFC使用的標準3英寸占地面積,流量范圍為5sccm至50 slm,從而無需修改現有的氣體管線配置即可使用。

金屬密封

GM50A金屬密封MFC具有10 µ英寸電拋光316L表面光潔度,使該質量流量控制器可用于高純度應用。

設定值精度的百分比

附帶的數字校準可在全量程流量范圍的20%至100%的情況下使用N2校準氣體提供1%的設定點精度。設定點精度可實現精確的過程控制,相對于相對于滿量程的精度。當質量流量為滿刻度的2至20%時,精度為滿刻度的±0.2%。

嵌入式用戶界面

嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力,從而減少了庫存需求。您還可以監視MFC功能并就地收集性能數據。

溫度傳感器

經過驗證的熱傳感器設計可提供出色的零穩定性。美國號5461913。


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