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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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更新時(shí)間:2023-10-20 12:33:05瀏覽次數(shù):207次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 環(huán)保在線多氣體,多量程,金屬密封,50-50,000sccm的質(zhì)量流量控制器GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量或RS485,Profibus™,EtherCAT®,PROFINET或DeviceNet™I/O
GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量或RS485,Profibus™,EtherCAT®,PROFINET或DeviceNet™I / O。數(shù)字控制電子器件利用的MKS控制算法,可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速,可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)可在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生設(shè)定點(diǎn)精度的1%。
· 流量從5到50,000 sccm
· 金屬密封,帶特氟龍閥塞
· 多種數(shù)字(ItherCAT,DeviceNet™,Profibus®,PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA)I / O
· 標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0%
· 少于750毫秒的建立時(shí)間
控制范圍 | 滿量程的2%至100% | 進(jìn)氣壓力系數(shù) | <讀數(shù)的0.02%/ psi |
滿量程流量范圍 | 5-50000 sccm(相當(dāng)于N2) | 典型建立時(shí)間 | <750毫秒,通常在滿量程的5%以上 |
入口壓力 | 150磅/平方英寸 | 熱身時(shí)間 | 30分鐘 |
正常工作壓力差 | 10至5000 sccm; 10至40 psid,10000至20000 sccm; 15至40 psid,30000至50000 sccm; 25至40 psid | 工作溫度 | 10°C至50°C |
耐壓 | 1000磅/平方英寸 | 儲存濕度 | 0至95%相對濕度,無凝結(jié) |
爆破壓力 | 1500磅/平方英寸 | 貯存溫度 | -20°至80°C |
典型精度 | 20%至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的±1%,2%至20%滿量程時(shí)為滿量程的±0.2% | 外部泄漏完整性 | <1 x 10 -09(scc / sec He) |
重復(fù)性 | 讀數(shù)的±0.3% | 封閉閥的泄漏完整性 | 在大氣壓力為40 psig時(shí)高達(dá)10K閥門 |
解析度 | 滿量程的0.1% | 濕材料 | 316L SS VAR,316 SS,Elgiloy®,鎳,KM45 |
零溫度系數(shù) | <滿量程的0.05%/°C | 重量 | 3磅(1.4公斤) |
跨度溫度系數(shù) | <0.08%的讀數(shù)/°C | 合規(guī) | CE認(rèn)證 |
GM50A數(shù)字控制MFC具有模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用的MKS控制算法,可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)提供快速,可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。GM50A的模擬和數(shù)字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。
GM50A利用MFC使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積,流量范圍為5sccm至50 slm,從而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。
GM50A金屬密封MFC具有10 µ英寸電拋光316L表面光潔度,使該質(zhì)量流量控制器可用于高純度應(yīng)用。
附帶的數(shù)字校準(zhǔn)可在全量程流量范圍的20%至100%的情況下使用N2校準(zhǔn)氣體提供1%的設(shè)定點(diǎn)精度。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)精確的過程控制,相對于相對于滿量程的精度。當(dāng)質(zhì)量流量為滿刻度的2至20%時(shí),精度為滿刻度的±0.2%。
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力,從而減少了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。
經(jīng)過驗(yàn)證的熱傳感器設(shè)計(jì)可提供出色的零穩(wěn)定性。美國號5461913。
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