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上海昊量光電設備有限公司
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皮米精度位移激光（可試用）昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進行量測的理想儀器，基于其的測量原理，相對距離的重復精度達到了的50皮米
皮米精度位移激光（可試用）
昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進行量測的理想儀器，基于其的測量原理，相對距離的重復精度達到了的50皮米。quDIS可同時支持三個測量通道，使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法，不過與傳統激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準參考，通過激光波長調諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實現其它設備所不具有的距離測量，基于這種測量方式，使得quDIS相對其他產品測量距離可以達到5M的同時保持高精度，且與信號對比度和強度無關，由于使用整個干涉模式來提取位移信息，因此不存在非線性誤差。此外，quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中提取得到。
的法珀腔+飽和吸收氣室構造 波長的線性變化的引入在此構造下使得距離的測量成為可能！
干涉傳感頭
激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實現的，根據反射目標的不同，不同的應用都需要不同的準直、聚焦和光束剖面約束。quDIS的傳感器頭均基于設計。quDIS為常規情況下的使用提供標準準直儀和定焦傳感頭，同時根據具體的需要以及惡劣環境下的應用，也設計了響應的特殊傳感頭。
用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設計 鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數準直頭
環境測試模塊（AMU）
環境測試模塊（AMU）設計用于補償由溫度T、壓力p和相對濕度rH波動引起的折射率變化，總體精度為1ppm。
產品特點：
多維度多通道位移干涉器，操作簡單，即插即用
相對距離和距離測量
完善的全套系統配置
實時輸出數字化圖像
針對不同應用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案
長期使用保證穩定性
兼容真空與各種惡劣環境
優勢：
距離高精度測量！
不存在非線性及周期性誤差！
相對距離信號穩定性<>
工作距離大至5m（與傳感頭相關）
目標速度＜3m/s
三個傳感接口，可實現多設備同步
探測器分辨率達到1pm
應用領域：
極限環境下振動分析
緩慢漂移及熱膨脹檢測
精密設備位置控制
納米級位移測量
層狀結構中間隙和邊緣的測量
位移和振動精度評估
皮米精度位置測量儀參數列表：
| 干涉儀 | 傳感頭 | ||
| 光源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
| 功率 | <> | 相對距離穩定性 | <> |
| 波長 | 1535nm | 相對對距離精度 | <0.2nm> |
| 線寬 | <> | 帶寬 | 25kHz |
| 傳感器通道 | 3 | 工作距離 | 20-5000mm |
| 光纖輸入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目標速度 | <3m> |
| Mating Sleeves | 傳感頭 | 真空 | |
| 同步 | 多臺設備同步 | ||
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