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深圳市冬紅科技有限公司
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HSR-8000共聚焦顯微鏡可對待測物的表面進行非接觸式三維形貌掃描，獲取2D/3D表面形貌、分析微觀輪廓幾何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等參數指標，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT/四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
1、高精度、高重復性
?采用針孔，共聚焦光學系統、高穩定性結構設計、優異的3D重建算法組成測量系統保證測量精度高；
?2、一體化操作的測量分析軟件
?1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能;
2） 可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程;?
3）結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區域的測量與分析過程;?
4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;?
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能;
6） 可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。
| 測量原理 | 針孔共聚焦光學系統 | |
| 顯微物鏡 | 10x,20x,50x,100x | |
| 視場范圍 | 120x120?~1.2x1.2 mm | |
| 掃描幀率 | ≥4HZ | |
| 高度測量 | 重復性*1 | 20nm |
| 精度*1 | ±(0.2+L/100)? | |
| 顯示分辨率 | 0.5nm | |
| 寬度測量 | 重復性*2 | 40nm |
| 精度*2 | 2% | |
| 顯示分辨率 | Inm | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 200×200mm |
| 移動范圍 | 100×100mm | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z0軸掃指 | 范圍 | 10mm |
| Z0軸掃描步長 | 20nm-150nm | |
| Z向移動范圍 | 100mm | |
| 物鏡塔臺 | 5孔電動 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 外形尺寸 | 540*379*594mm | |
| 總重量 | 45kg | |
| 工作電源 | AC 220V/50HZ | |
| 工作環境 | 溫度10°C~35°C,溫度梯度＜1°C/15分鐘，濕度30-80%振動＜0.002g,低于15Hz | |
在環境溫度20±2°C下用50X物鏡測量4.7?標準臺階樣塊。
在環境溫度20±2°C下用50X物鏡測量標準刻線樣板。
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