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JSM-IT500 掃描電子顯微鏡

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JSM-IT500是JEOLInTouchScope系列的新機(jī)型

詳細(xì)介紹

JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新機(jī)型。
從設(shè)定視野到生成報(bào)告，用于分析的軟件整合于一體，加快了作業(yè)速度！是一款無(wú)縫操作，使用更加方便的掃描電子顯微鏡。

掃描電子顯微鏡JSM-IT500 InTouchScope™的特點(diǎn)及功能介紹：

3個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)　使日常分析更迅速！更簡(jiǎn)便！

圖片1.jpg

①關(guān)鍵點(diǎn)1　Zeromag
從樣品座圖形和CCD圖像上可以尋找視野和分析位置。尋找視野非常輕松，多視野連續(xù)分析的位置也很容易。

②關(guān)鍵點(diǎn)2　實(shí)時(shí)分析 (于A/LA)
在圖像觀察過程中，進(jìn)行EDS分析。
EDS譜圖顯示在觀察窗口中，如果給感興趣的元素加上alert ，會(huì)更容易發(fā)現(xiàn)。

③關(guān)鍵點(diǎn)3　數(shù)據(jù)集中管理軟件
數(shù)據(jù)的查看、再分析以及從SEM圖像到EDS分析的全部數(shù)據(jù)報(bào)告可以一鍵生成。用數(shù)據(jù)管理圖標(biāo)或者從測(cè)試結(jié)束的數(shù)據(jù)列表中啟動(dòng)數(shù)據(jù)管理窗口并選擇數(shù)據(jù)，一鍵就能生成報(bào)告。

關(guān)鍵點(diǎn)1　Zeromag ～將大視野光學(xué)CCD圖像和SEM圖像結(jié)合～

直到高倍率觀察的順利操作！

光學(xué)CCD圖像和SEM圖像的結(jié)合和無(wú)縫操作使工作效率大大提高

圖片2.jpg

利用Zeromag能簡(jiǎn)便自動(dòng)地進(jìn)行大區(qū)域觀察和EDS分析

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利用Zeromag設(shè)置蒙太奇

圖片4.jpg

圖片5.jpg

蒙太奇結(jié)果 4×4 （左：背散射電子成份像右：Ca元素面分布圖）
樣品：混凝土加速電壓：15kV 高真空模式拍攝區(qū)域：約4mm×3mm

利用Zeromag很容易設(shè)定大面積的蒙太奇區(qū)域，有利于成像和觀察。蒙太奇功能在斷裂分析和大區(qū)域中識(shí)別異物等從大面積區(qū)域上獲取詳細(xì)信息時(shí)非常有效。

關(guān)鍵點(diǎn)2　實(shí)時(shí)分析～SEM和EDS一體化集成～

利用Live Analysis功能，可在觀察窗口中進(jìn)行被觀察區(qū)域的EDS分析。可以容易地找到自己感興趣的元素，還能發(fā)現(xiàn)意料之外的元素。

圖片6.jpg

①顯示存在于測(cè)試區(qū)域中的主元素。能元素并顯示“Alert”。

②會(huì)顯示分析區(qū)域的特征X射線譜圖和自動(dòng)定性分析結(jié)果。

③一鍵點(diǎn)擊就可以在電鏡操作界面和詳細(xì)分析顯示界面間切換。

關(guān)鍵點(diǎn)3　數(shù)據(jù)集中管理軟件SMILE VIEW™ Lab～無(wú)縫創(chuàng)建報(bào)告?

SMILE VIEW™ Lab是能集中管理與樣品臺(tái)位置聯(lián)動(dòng)的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結(jié)果等數(shù)據(jù)并快速生成報(bào)告的數(shù)據(jù)管理器。查看以前獲得的數(shù)據(jù)、重新分析，生成報(bào)告等都能簡(jiǎn)便地進(jìn)行。

①顯示各個(gè)視野的名稱。

圖片7.jpg

②能根據(jù)樣品名、創(chuàng)建日期和數(shù)據(jù)類型等搜索數(shù)據(jù)。

圖片8.jpg

③在樣品座圖形或CCD圖像上顯示各個(gè)視野的位置。

④會(huì)列表顯示被選區(qū)域的元素圖、譜圖等的數(shù)據(jù)和定量分析結(jié)果等。

圖片9.jpg

技術(shù)參數(shù)

分辨率高真空模式	3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV)
低真空模式^*1	4.0 nm (30 kV BED)
圖像倍率	×5～×300,000 （以128 mm × 96 mm 作為顯示尺寸規(guī)定放大倍率）
顯示倍率	×14～×839,724 顯示器上的圖像倍率（以358 mm × 269 mm 作為顯示尺寸規(guī)定放大倍率）
電子槍	鎢燈絲電子槍自動(dòng)合軸
加速電壓	0.3kV～30kV
低真空壓力設(shè)定范圍※1	10～650Pa
物鏡光闌	３檔　　帶有ＸＹ微調(diào)功能
自動(dòng)功能	燈絲調(diào)整、電子槍合軸調(diào)整，聚焦、像散、襯度/亮度調(diào)整
樣品尺寸	200 mm直徑×75 mm高度 200 mm直徑×80 mm高度※選配件 32 mm直徑×90 mm高度 ※選配件
樣品臺(tái)	大型全對(duì)中式 X：125 mm　Y：100 mm　Z：80 mm 傾斜：－10～90°　旋轉(zhuǎn)：360°
圖像無(wú)縫拼接功能	標(biāo)配
顯示測(cè)試位置座標(biāo)	直徑203 mm
標(biāo)準(zhǔn)菜譜	有（包括EDS條件 ※2）
圖像模式	二次電子像、REF像、成份像1、形貌像1、陰影像^*1等
獲取圖像的像素?cái)?shù)	640x480 1,280x960 2,560x1920 5,120x3,840
OS	Microsoft®Windows®10 64bit
顯示器	23寸觸摸屏
EDS 功能^*2	譜圖分析、定性分析/定量分析、線分析（水平線分析、任意方向線分析）元素面分布、電子束追蹤等
測(cè)長(zhǎng)功能	有（兩點(diǎn)間距離、平行線間距離、角度、直徑等）
數(shù)據(jù)管理功能	SMILE VIEW™ Lab
生成報(bào)告功能	SMILE VIEW™ Lab
語(yǔ)言切換	可以在UI 上（日語(yǔ)/ 英語(yǔ)）
抽真空系統(tǒng)	自動(dòng)　TMP：1 臺(tái)、RP：1臺(tái)或2臺(tái)^※1