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德國Iplas 微波等離子化學氣相沉積系統

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德國Iplas微波等離子化學氣相沉積詳細介紹德國IPLAS微波等離子化學氣相沉積技術（MPCVD),通過等離子增加前驅體的反應速率，降低反應溫度

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德國 Iplas 微波等離子化學氣相沉積

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德國 IPLAS 微波等離子化學氣相沉積技術（MPCVD), 通過等離子增加前驅體的反應速率，降低反應溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結晶形態好的高質量硬質薄膜和晶體。

MPCVD是的制備大尺寸單晶金剛石有效手段之一。德國iplas公司的 CYRANNUS® 等離子技術解決了傳統等離子技術的局限，可以在10mbar到室壓范圍內激發高穩定度的等離子團，限度的減少了因氣流、氣壓、氣體成分、電壓等因素波動引起的等離子體狀態的變化，從而確保單晶生長的持續性，為合成大尺寸單晶金剛石提供有力保證。