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等離子去膠機(jī) IoN Wave 10E

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產(chǎn)品型號(hào)IoN Wave 10E

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等離子去膠機(jī)IoNWave10EIoNWave10E等離子去膠機(jī)是我們?cè)谖⒉ǖ入x子處理工藝中的新產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

等離子去膠機(jī) IoN Wave 10E

IoN Wave 10E等離子去膠機(jī)是我們?cè)谖⒉ǖ入x子處理工藝中的新產(chǎn)品。該批次式晶圓灰化設(shè)備成本低廉、尺寸適中，特別適用于工廠、科研院所等領(lǐng)域。

IoN Wave 10E使用性能出色的組件和軟件，可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。它的工藝監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集軟件可實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、MEMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。

IoN Wave 10E占地面積小，安裝和維護(hù)簡(jiǎn)單。依靠微波等離子技術(shù)，該設(shè)備在提供光刻膠高灰化速度的同時(shí)，的降低了產(chǎn)品暴露在靜電放電（ESD）中。

規(guī)格參數(shù)

工作腔室

材質(zhì) 石英

尺寸 248mm直徑 x 397 mm長(zhǎng)

腔門處直徑 241mm

容積升

工藝氣體控制最多至6路氣體，MFC控制

基礎(chǔ)壓力 mbar (50 mTorr)

工藝壓力 – mbar (375 – 1125 mTorr)

抽真空時(shí)間大約1分鐘

微波發(fā)生器

頻率 GHz

輸出功率 1200W

供給需求

電源 220V，50 Hz，單相

工藝氣體輸入壓力1-2 Bar

壓縮空氣 4-6 Bar，流速 56 升/分鐘（間歇式）

吹掃氣體 Bar，流速 28 升/分鐘（間歇式）

尺寸寬/高/深 775 x 749 x 781 mm

重量 135 千克

可選配置

推拉門

石英舟支撐桿

溫控板

1%精度的真空規(guī)

壓力控制器

指示燈柱

條形碼閱讀器

工藝氣體切換器

光譜終點(diǎn)檢測(cè)器

法拉第桶（次級(jí)等離子體）

陶瓷腔室，耐化學(xué)腐蝕密封圈

打印機(jī)

油泵或干泵

功能性：

臺(tái)式設(shè)計(jì)，占地面積小

石英腔室可容納8寸的晶圓，最多同時(shí)裝載25片6寸晶圓

使用Windows操作系統(tǒng)的工業(yè)計(jì)算機(jī)控制

符合Semi E95-1101要求的圖形用戶界面（GUI）

軟件提供了不同的用戶訪問(wèn)權(quán)限：操作員、工藝編寫、維護(hù)

通過(guò)以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程工藝監(jiān)測(cè)

機(jī)載診斷功能和報(bào)警記錄

工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

液晶觸摸屏（LCD）操作面板

基于在線網(wǎng)絡(luò)的模擬、培訓(xùn)和支持程序

安裝簡(jiǎn)單快捷

典型應(yīng)用

去除光刻膠

晶圓打膠

濕法刻蝕前的晶圓清潔

去除SU-8

刻蝕鈍化層

失效分析中的器件開封

清潔和表面活化

化學(xué)微量分析中的低溫材料灰化

過(guò)濾器和濾膜的清潔