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深圳市科時達電子科技有限公司


高溫離子氮化爐

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更新時間:2023-06-16 17:37:35瀏覽次數:285次

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產品簡介

脈沖等離子PulsPlasma®系統包括真空爐室,輔助加熱系統,保溫系統,溫度測量系統,鐘罩提升系統,工藝氣體循環系統,冷卻系統,工藝控制系統以及離子發生器系統

詳細介紹


脈沖等離子PulsPlasma®系統包括真空爐室,輔助加熱系統,保溫系統,溫度測量系統,鐘罩提升系統,工藝氣體循環系統,冷卻系統,工藝控制系統以及離子發生器系統。這其中的離子發生器系統是普發拓普公司的設計,可以避免打弧現象的發生而且節能效果明顯。爐體可以是鐘罩式設計,也可以是井式爐或臥式設計。根據設備的大小,加熱控制區至少配有三組獨立控制升溫和降溫的加熱器,通過這些獨立控制的加熱器獲得較好的均溫性。


工藝特點:

通過熱壁技術實現良好的均溫性

工藝氣體消耗少,沒有污染氣體

靈活的滲氮溫度,溫度范圍 300 ℃ - 800 ℃

白亮層可控

可處理不銹鋼

可處理燒結鋼

可以在同一爐工藝集成脈沖離子氮化-氧化工藝



設備特點:

不產生打弧,工件表面無破壞

加熱和控制系統,至少3區獨立的加熱和冷卻區域

控制區溫度均勻分布

PulsPlasma®電源,電壓和電流近乎方波,幾微妙內獲得

設定的全部脈沖電流,主動抑制打弧監測(開關時間
電源可升級至5年質保

可在低溫下對工件表面進行等離子清洗

設備布局緊湊,節省空間,所有部件集成在一個基礎框架內

模塊化設計,提供單室型、交替型和雙室型設備

特殊航天保溫材料,熱容量低,功率損耗低,節省重量


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