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深圳市科時達電子科技有限公司
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用于半導體晶圓廠中成分測量的全自動SIMSAKONISSIMS工具通過直接在半導體生產線中提供對注入分布、成分分析和界面數據的高產量、高精度檢測，半導體制造工藝中的重要空白
用于半導體晶圓廠中成分測量的全自動 SIMS
AKONIS SIMS 工具通過直接在半導體生產線中提供對注入分布、成分分析和界面數據的高產量、高精度檢測，半導體制造工藝中的重要空白。AKONIS 有非常高的自動化水平，確保了各種工具在晶圓廠工藝控制和工具之間匹配方面的可重復性。
除傳統的通過表征實驗室為半導體行業提供支持的IMS Wf/SC Ultra和 SIMS 4550（四極桿 SIMS）系列外，AKONIS作為其 補充，可實現儀器設置和采集例程的自動化，從而可在分析靈敏度不受影響的情況下實現快速的廠內分析。AKONIS 受益于極低沖擊能量（EXLIE）離子色譜柱技術（
推動實現 N5 及后繼制程的高產量
SiGe 和 SiP 多層堆疊的高分辨率成分和快速摻雜物深度剖析
的最小 20 μm 在壓焊點上的檢測限
將數據反饋到生產線的時間縮短了 97% 以上
光片和圖案化的整片晶圓測量
圖案識別引擎與高分辨率干涉測量平臺相結合，可實現 基于材料數據庫的直觀recipe創建
SEMI 認證（S2/S8、E4、E5、E39、E84 ）
低購置成本
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