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【1萬轉(zhuǎn)】 SYSC-100B 高精度程控勻膠機旋涂儀 Spin Coater

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產(chǎn)品型號SYSC-100A

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更新時間：2022-12-21 16:00:59瀏覽次數(shù)：450次

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上海三研科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

SYSC-100A型高精度程控勻膠機（Spin Coater），是*新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設備。精密高速伺服電機驅(qū)動，轉(zhuǎn)速達8000rpm，轉(zhuǎn)速精準。*高的旋轉(zhuǎn)加速度可達50000rpm/s（有負載的真實加速度）。全自動程序控制。耐腐蝕，304不銹鋼機身，腔體采用NPP材料，旋轉(zhuǎn)臺采用PEEK材料。安全保護功能，真空吸片檢測，腔體關閉檢測。主要用于微電子、半導體、制版、新能源、生

詳細介紹

SYSC-100B高精度程控勻膠機旋涂儀 Spin Coater

一. 產(chǎn)品應用

SYSC-100B高精度程控勻膠機（Spin Coater），又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀，是*新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。

二. 產(chǎn)品特點

1. 旋轉(zhuǎn)電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機，具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。

2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達50000rpm/s（有負載的真實加速度）。

3. 兩項安全互鎖功能：

(1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能，確保腔體關閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造**身傷害；

(2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運行。

4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。

5. 勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進入真空管路和設備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。

6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺采用德國勞士領PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。

7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。可儲存50組工藝程序，隨時調(diào)用。

8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示，更直觀了解勻膠進程；

9. 真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制，無需手動操作。

10. 旋轉(zhuǎn)前增加預吸片步驟，“預吸片時間"*多為99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺后再進行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間"*多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。

11. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，防止飛片。

三. 技術參數(shù)

產(chǎn)品型號	SYSC-100B
可鍍膜基片尺寸	?10～100mm
旋轉(zhuǎn)速度	10～10000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率	1rpm
速度精度	＜0.02%
旋涂加速度*	0～50000rpm/s
每段加速時間	999.9s
每段旋涂時間	9999.9s
時間分辨率	0.1s
預吸片時間	99s
解吸片時間	99s