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蘇州汶顥微流控技術股份有限公司
WH-SC-02勻膠機轉速范圍:300-10000rpm,適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠
WH-SC-01勻膠機適用于半導體工藝,制版及表面涂覆等工藝,可在科研、教育等單位作科研、教學之用。其總體設計由汶顥股份獨立開發完成,具有獨立知識產權。
勻膠機快速啟動和穩定的轉速,能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。
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(一)、采用全觸摸屏控制,三檔轉速。在啟動之后先在低轉速下進行勻膠,之后切換至高速下進行甩膠,轉速及相應的時間分別可調;實現啟停可控,轉速實時觀察等功能。
(二)、在結構方面,儀器本身采取了減震措施,在運轉時噪音很低。
①防撞墊 ②勻膠托盤 ③觸摸屏 ④專用吸附盤 ⑤觀察窗 ⑥蓋板 ⑦抽氣孔 ⑧電源插口及開關
(1)電源輸入:AC220V±10V,50HZ;
(2)功率:60W;
(3)參數設定:觸摸屏設置參數,轉速穩定度±1%,膠的均勻性±3%;
(4)LED數字顯示,轉速范圍:300-10000rpm,時間范圍:5-9999s;
(5)適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠;
(6)外形尺寸:300*280*220mm;
(7)整機重量:7kg。
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