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SPA2600等離子清洗機(jī)

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等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)

詳細(xì)介紹

       等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。
SPA2600等離子清洗機(jī)
       清洗原理
       等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
       在真空腔體里,通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體,通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達(dá)到清洗目的。
       結(jié)構(gòu)
       等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個(gè)部分做一個(gè)陳述:
       一、控制單元
       國(guó)內(nèi)使用的等離子清洗機(jī),包括國(guó)外進(jìn)口的,控制單元主要分為半自動(dòng)控制、全自動(dòng)控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。
       而控制單元又分為兩個(gè)大的部分:
       1)電源部分:主要電源頻率有三種,分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要電源匹配器的。
       2)系統(tǒng)控制單元:分三種,按鈕控制(半自動(dòng)、全自動(dòng))、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。
       二、真空腔體:
       真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的:
       1)不銹鋼真空腔體。
       2)石英腔體。
       三、真空泵:
       真空泵分為兩種:
       1)干泵。
       2)油泵。 

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