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北京盛權瑞騰科技有限公司
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質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制
質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
滿量程流量范圍（N2） | 5SCCM～30SLM | |
控制范圍 | 2～100％F.S. | |
閥類型（及閥初始狀態） | 電磁調節閥（常閉） | |
準確度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
線性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
重復精度 | ±0.2％F.S. | |
響應時間 | ≤4sec | |
工作溫度范圍 | 5～45℃ | |
工作壓差 | ≤10SLM | 0.1～0.5MPa |
＞10SLM | 0.1～0.3MPa | |
耐壓 | 3MPa | |
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
接頭選擇 | VCR | 1/4"或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8"、1/4"或φ3、φ6mm | |
電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |
抗電磁干擾 | CE | |
重量 | 0.95Kg | |
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