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廣州市君翔儀器儀表有限公司
IM4000PLUS是支持斷面研磨和平面研磨(Flat Milling®*1)的混合式離子研磨儀器。借此,可以用于適用于各種諸如對樣品內部結構觀察和各類分析等,為評價目的樣品的制作。*1平面研磨(Flat Milling®)是位于日本國內的日立*有限公司的注冊商標。參數規格:項目內容IM4000PLUSIM4000PLUS斷面研磨桿平面研磨桿使用氣體Ar(氬)氣加速電壓0 ~ 6 kV研......
IM4000PLUS是支持斷面研磨和平面研磨(Flat Milling®*1)的混合式離子研磨儀器。借此,可以用于適用于各種諸如對樣品內部結構觀察和各類分析等,為評價目的樣品的制作。
*1平面研磨(Flat Milling®)是位于日本國內的日立有限公司的注冊商標。
參數規格:
項目 | 內容 | |
---|---|---|
IM4000PLUS | IM4000PLUS | |
斷面研磨桿 | 平面研磨桿 | |
使用氣體 | Ar(氬)氣 | |
加速電壓 | 0 ~ 6 kV | |
研磨速度(Si材料) | 500 µm/hr*1 以上 | - |
樣品尺寸 | 20(W)× 12(D)× 7(H)mm | Φ50 × 25(H) mm |
離子束 間歇照射功能 | 標配 | |
尺寸 | 616(W)× 705(D)× 312(H)mm | |
重量 | 機體48 kg+回轉泵28 kg | |
附冷卻溫度調節功能的IM4000PLUS | ||
冷卻溫度調節功能 | 通過液氮間接冷卻樣品、溫度設定范圍:0°C ~ -100°C | |
選項 | ||
空氣隔離 樣品夾持器 | 僅支持斷面研磨夾持器 | - |
FP版斷面研磨夾持器 | 100 µm/rotate*2 | - |
用于加工監控的顯微鏡 | 倍率 15 × ~ 100 × 雙目型、三目型(支持CCD) |
產品特點:
配備斷面研磨能力達到500 µm/h*2以上的高效率離子槍。因此,即使是硬質材料,也可以高效地制備出斷面樣品。
*2在加速電壓6 kV下,將Si從遮擋板邊緣伸出100 µm并加工1小時時的深度即使是由硬度以及研磨速度不同的成分所構成的復合材料,也可以制備出平滑的斷面樣品
優化加工條件,減輕損傷
可裝載20 mm(W) × 12 mm(D) × 7 mm(H)的樣品
制備金屬以及復合材料、高分子材料等各種樣品的斷面
制備用于分析開裂和空洞等缺陷的斷面
制備評價、觀察和分析所用的沉積層界面以及結晶狀態的斷面
斷面研磨加工原理圖
均勻加工成直徑約為5mm的范圍
可運用于符合其目的的廣泛領域
可裝載直徑50 mm × 厚度25 mm的樣品
可選擇旋轉和擺動(±60度~±90度的翻轉)2種加工方法
去除機械研磨中難以消除的細小劃痕和形變
去除樣品的表層
消除FIB加工的損傷
平面研磨(Flat Milling®)加工原理圖
樣品無需從樣品臺取下,就可直接在SEM上進行觀察。
在抽出式的日立SEM上,可按照不同的樣品分別設置截面、平面研磨桿,因此,在SEM上觀察之后,可根據需要進行再加工。
附冷卻溫度調節功能的IM4000PLUS
該功能可有效防止加工過程中,由于離子束照射引發的樣品的溫度上升,所導致樣品的溶解和變形。對于過度冷卻后會產生開裂的樣品,通過冷卻溫度調節功能可防止其因過度冷卻而產生開裂。
*1此調節功能不是IM4000PLUS的標配功能,而是配有冷卻溫度調節功能的IM4000PLUS功能。您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
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