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上海翔研精密儀器有限公司
簡介:深圳中圖SJ-6000激光干涉儀
深圳中圖SJ6000激光干涉儀
· 產品型號:SJ6000
· 產品名稱:SJ6000激光干涉儀
· 測量方式:單頻
· 穩頻精度:±0.05ppm
· 測量精度:±0.5ppm(0-40)℃
· 線性測量距離:(0-80)m
· 測量分辨率:1nm
· 動態采集頻率:50KHz
· 預熱時間:≤6分鐘
· 工作溫度范圍:(0-40)℃
· 環境溫度范圍:(0-40)℃,環境濕度:0-95%
· 主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今*的高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領域應用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。
若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
◆精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。
◆功能廣
● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
● 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
● 可實現龍門機床雙軸同步測量;
● 可實現對機床回轉軸的測量與校準;
● 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
● 具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;
● 支持手動或自動進行環境補償。
◆軟件強
● 友好的人機界面;
● 豐富的應用功能模塊;
● 向導式的操作流程;
● 簡潔化的記錄管理;
● 支持中文、英文和俄文界面;
● 支持企業專屬模板定制。
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