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昆山熙日機械設備有限公司
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愛德華edwards渦旋干式真空泵nXDS20inXDS干式渦旋泵EdwardsnXDS具備出色的抽排能力、的真空性能和的設計特性，性能居同類產品
Edwards nXDS 具備出色的抽排能力、的真空性能和的設計特性，性能居同類產品。
nXDS 泵在傳統 XDS 泵的基礎上進行改進，提高了抽取速度，降低了極限壓力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了的端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能。
nXDS 泵可進行現場維修。其智能控制功能和長達五年的維修間隔帶來較低的擁有成本，使其成為應用于當今技術的小型干泵的。
工作環境更好，環境影響低：
安靜運轉
操作簡單：
智能且易于使用控制
無污染且不需要處理油：
采用密封結構，實現了無潤滑劑真空環境
低擁有 成本：
長維修間隔和低功耗
更快的制程：
出色的蒸汽處理能力
真空外殼中 不需要使用潤滑劑，密封可保證的清潔和干燥真空， 防止交叉污染
無大氣壓到 真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能 以更低溫度運行，使用時間更長
簡單的單側 滾軸布置與創新的電機和軸承設計相結合，只需Z低程度的 特殊工具，就能實現輕松的現場服務，因此可降低運行成本， 盡可能延長正常運行時間
改進了電機和 傳動效率，可降低功耗和運行成本
*的接口 提供了各種傳統、模擬和數字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現 遠程控制/監視
一般清潔泵送
電子掃描顯微鏡 (SEM)
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機
一般清潔泵送應用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油，環氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環
稀有氣體回收
冷凍制造
研發
旋轉離心蒸發器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學儀器
真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可保證的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
簡單的單側滾軸布置與創新的電機和軸承設計相結合，只需Z低程度的特殊工具，就能實現輕松的現場服務，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本
*的接口提供了各種傳統、模擬和數字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現遠程控制/監視
| 標稱旋轉速度 | 1800 rpm |
| 排量 | 28.0 m3h-1 / 16.5 ft3min-1 |
| 峰值抽速 | 22.0 m3h-1 / 13.0 ft3min-1 |
| 極限真空（總壓力） | 0.030 mbar / 0.022 Torr |
| Z小待機旋轉速度 | 1200 rpm |
| 速度控制精度（以全速百分比表示） | 1% |
| Z小轉速時的抽速 | 10 |
| Z大連續進氣口壓力 | 50 mbar |
| 電機功率（一相） | 260 W |
| 電源連接器（1 相） | IEC EN60320 C13 |
| 推薦保險絲 | 10A，250Vac rms |
| 重量 | 25.6 kg / 56 lb |
| 入口法蘭 | NW25 |
| 排氣口法蘭 | NW25 |
| 噪音級別 | 52 dB(A) |
| 入口法蘭處抗振性 | < 4.5 mms-1 (rms) |
| 密封性（靜態） | < 1x10-6 mbar ls-1 |
| 工作溫度范圍 | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
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