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法國(guó)阿爾卡特真空泵給維修保養(yǎng)ALCATEL干式真空泵A4X系列

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法國(guó)阿爾卡特真空泵給維修保養(yǎng)ALCATEL干式真空泵A4X系列

詳細(xì)介紹

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品牌：

ADIXEN by Pfeiffer

型號(hào)：

A4X Series

Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	A 124 H	A 604 H	A 1204 H	A 204 H A 204 X	A 804 H A 804 X	A 1504 H A 1504 X	A 1804 H A 1804 X
抽速 m3/h	110	560	1150	160	700	1200	1700
極限真空 (氮?dú)獯祾唛y關(guān)閉) hPa	2X10^-2	2X10^-4	9X10^-4	5X10^-2	2X10^-3	2X10^-3	2X10^-3
極限真空 (氮?dú)獯祾唛y50 SLM) hPa	5X10^-2	6X10^-3	6X10^-3	2X10^-1	9X10^-3	9X10^-3	9X10^-3
全轉(zhuǎn)速Z大進(jìn)氣氣流 SLM	80	60	55	150	100	100	70
Z大功率 KW	1.5	1.9	2.3	1.8	2.2	2.6	2.6
Z大排氣壓力hPa	1200	1200	1200	1200	1200	1200	1200
進(jìn)氣口 ISO-KF	DN 50	DN 100	DN 160	DN 50	DN 100	DN 160	DN 160
重量 kg	250	370	530	260	380	540	540

德國(guó) Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導(dǎo)體、光伏等腐蝕性強(qiáng)的行業(yè)，干式真空泵抽速從 160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求，特殊的耐腐蝕工藝設(shè)計(jì)保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高，有效降低了企業(yè)成本。

普發(fā)干式真空泵PFEIFFER A4X 系列核心優(yōu)勢(shì)：
干式真空泵 A4X 系列應(yīng)用：
半導(dǎo)體：（蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行業(yè)：光伏和 LED
耐腐蝕設(shè)計(jì)，使用壽命長(zhǎng)
通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標(biāo)準(zhǔn)
特殊設(shè)計(jì)，避免真空泵發(fā)生爆裂或可冷凝物沉積
配置氮?dú)獯祾唛y，耐粉塵

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