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愛德華edwardsIXL高性能干式真空泵機組

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更新時間:2023-05-18 07:47:41瀏覽次數:175次

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產品簡介

愛德華edwards半導體干式真空泵iXL高性能干式真空泵機組iXL系列干泵滿足平板顯示器(FPD)、半導體和太陽能制造市場領域涉及的所有排氣要求

詳細介紹

愛德華edwards半導體干式真空泵iXL 高性能干式真空泵機組

iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導體和太陽能制造市場 領域涉及的所有排氣要求。

這些性能的 泵旨在Z大限度地提高基板吞吐量,同時盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外,大修間隔期內無須 維護。


    

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適用于半導體和太陽能應用的小型 iXL 干泵
適用于嚴苛應用的大型 iXL 干泵
適用于 Applied Materials 制程平臺的 IPUP

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