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昆山熙日機械設備有限公司
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法國阿爾卡特ALCATEL ADIXEN A1503H干式真空泵真空泵維修
法國阿爾卡特真空泵維修保養、ALCATEL ADIXEN A1503H干式真空泵
ALCATEL ADIXEN A3H range Dry pumps Applications
? All Semiconductor harsh applications such as:
- PECVD
- ALD
- MOCVD
- SACVD
- LPCVD
ALCATEL ADIXEN A3H range Dry pumps Technical Specifications：
ALCATEL ADIXEN A3H range pumping speed - 60 Hz / No purge
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