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上海新諾儀器集團有限公司
一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品的鍍膜。
沈陽科晶 GSL-1100X-SPC-16型 單靶等離子濺射儀
儀器概述:
GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品的鍍膜。
主要技術特點:
1、設有真空表、濺射電流表,可實時監控工作狀態。
2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得良好的鍍膜效果。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
5、根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
6、已通過CE認證。
主要技術參數:
產品型號 | GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀 | ||
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通風裝置:不需要 | ||
技術參數 | 1、電源:220V 2、總功率:<2000W(包括真空泵) 3、真空室:?160mm×120mm 4、樣品臺:?50mm,且高度可調,可同時進行8個SEM樣品的鍍膜 5、均勻鍍膜:?45mm | ||
產品規格 | 1、尺寸:400mm×300mm×400mm 2、重量:30kg | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 進氣針閥 | 1個 | |
3 | 保險絲 | 2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |
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