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UPL-120 精密Z向位移臺

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更新時間：2023-06-08 18:45:52瀏覽次數(shù)：203次

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安徽飛創(chuàng)儀器設備有限公司

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產品簡介

參考級Z向位移臺極其精確和可靠的定位

詳細介紹

極其精確和可靠的定位。用于在高負載時進行平穩(wěn)饋通的交叉滾柱導軌。應力消除鋁基座可實現(xiàn)高穩(wěn)定性。帶直流電機和兩相步進電機的驅動器變型。非接觸式限位開關。

電機軸上帶集成式旋轉編碼器（帶直流電機的變型）。

集成線性編碼器。運動平臺的直接位置測量，動力傳動系統(tǒng)中的機械游隙或滯后對定位精度無影響

工業(yè)和科研，如半導體檢驗、光纖對準。

技術參數(shù)：

	6635911030	6635921030	66359x1230	單位	公差
	帶直流電機和旋轉編碼器的Z向位移臺	帶步進電機的Z向位移臺	也帶線性編碼器（直接位置測量）
主動軸	Z	Z	Z
運動和定位
行程	13	13		毫米
集成傳感器	旋轉編碼器		線性編碼器
傳感器分辨率旋轉編碼器	5000			步/圈
設計分辨率	0.0134	1.34（全步）	0.05	微米	典型值
最小位移	0.5	0.5	0.1	微米
單向重復精度	0.5	0.5	0.1	微米
空回	2	2		微米
雙向重復性	3	3	±0.1	微米
串擾，角度誤差xry（螺距）	±100	±100		微弧度
串擾，角度誤差xrz（偏轉角）	±100	±100		微弧度
速度	6	6		毫米/秒
機械特性
負載容量	200	200		牛
保持力	30	60		牛
驅動特性
電機類型	直流電機	兩相步進電機
工作電壓	0至±12			伏
電機功率	17			瓦
限位開關	光學	光學
其他
工作溫度范圍	-20 到 50	-20 到 50		°C
材料	鋁，陽極氧化致黑	鋁，陽極氧化致黑
推薦控制器/驅動器	C-863（單通道）	SMC Hydra（雙通道） C-663（單通道）	SMC Hydra（雙通道）