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孚光精儀公司
電動真空位移臺采用了適合真空度高達10^-6Torr的真空步進電機,所有的機械部件都使用高度真空兼容潤滑脂潤滑,是高精度電動真空位移平臺,電動真空臺
型號 | 8MT173V-10 | 8MT173V-20 | 8MT173V-25 | 8MT173V-30 |
行程距離 | 10mm | 20mm | 25mm | 30mm |
螺距 | 0.25mm | |||
整步分辨率 | 1.25µm | |||
速度* | 2.5mm/s | |||
負載能力 | ||||
水平負載 | 3kg | |||
垂直負載 | 1kg | |||
真空兼容電纜 | 集成2米長 | |||
電機接口 | HDB15(M) | |||
電機 | VSS42 | |||
重量 | 0.42kg | 0.48kg | 0.49kg | 0.5kg |
搭建成多軸位移臺所需配件 | ||||
X-Y軸 | 2CP173V-20 | |||
Z | 2AB173V-20 | |||
建議控制器 | 8SMC5-USB |
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