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小型PECVD管式爐系統

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更新時間：2023-02-28 09:32:28瀏覽次數：228次

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產品簡介

產品詳情型號：OTF-1200X-50S-PE產品概述：OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統（PECVD）

詳細介紹

產品詳情

型號：OTF-1200X-50S-PE

產品概述：OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統（PECVD）。該設備配有等離子射頻電源，開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個直聯式雙旋機械泵。此套設備模型可組合為不同類型的PECVD系統，且設備性價較為理想。

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技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情

設備名稱

小型PECVD管式爐系統——OTF-1200X-50S-PE

產品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示

產品特點

? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 整套設備尺寸小巧；

? 可通過工藝調節來控制化學計量；

? 可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應力。

加熱爐參數

? 溫度：1100℃（<30min）；連續工作溫度：1000℃；

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃；

? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。

圖片1.jpg 溫控儀表.JPG

射頻電源

? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調（穩定性：±1%）	0-500W可調（穩定性：±1%）	0-100W可調（穩定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風冷	風冷	風冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片