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上海添時科學儀器有限公司
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產品型號OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL
品 牌
廠商性質0
所 在 地
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更新時間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數：181次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，80mm 0D1800mm L的滑動式雙溫區(qū)管式爐，4通道質量流量供氣系統(tǒng)和機械泵機組，可用于生長納米或石墨烯材料。
產品特點：
•射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度；
•滑軌式可快速加熱和快速冷卻;
•兩個加熱區(qū)，溫度梯度可達 200°c;
•可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。
加熱爐參數：
•溫度：1200°C（<30min），連續(xù)工作溫度：1100℃；
•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；
•輸入功率：208-240V，單相，功率：3KW；
•高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗；
•爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
射頻電源：
真空系統(tǒng)：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(tǒng)（可選）：
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
產品尺寸和重量：
設備總體尺寸：2200mmL 800mmW 1500mmH
凈重：610kg
注意：
采用氬氣高于射頻功率200W情況下，需特殊說明：設備需要特殊改造幾測試，（有法蘭過熱情況）
質保：
一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內
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