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長沙沛鈺進出品貿易有限公司


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1200℃雙管三溫區

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更新時間:2023-02-28 09:27:26瀏覽次數:155次

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產品簡介

產品詳情型號:OTF-1200X-III-D5-4產品概述:OTF-1200X-5-III-D4是一款三溫區的雙管爐,其工作溫度可以達到1200℃,專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質,如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等

詳細介紹

產品詳情

型號:OTF-1200X-III-D5-4

產品概述:OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區的雙管爐,其工作溫度可以達到1200℃,專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質,如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。

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技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情
名稱

1200℃小型三溫區開啟式管式爐OTF-1200X-III-C


爐體結構

·采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統

 

·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) 

 

·可選購石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內潔凈度及真空度(圖三、四)

 

·設有開門斷電功能,提高實驗安全性(圖五、六)

 

·石英爐管:外管直徑為 130 mm,內管直徑為100mm,使用時把金屬箔附在內管壁上用于CVD反應

 

·雙管真空密封法蘭,反應氣體通過兩個管(20mm空隙)流動并進行反應,強制對流空氣可以通過中心管進行快速冷卻(點擊下列圖片查看詳情)(圖七)

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基本參數

熱偶K型熱偶    建議升溫速率≤10℃/min   

 

溫度1100℃ 1200℃<1h)  電源:AC220,50Hz   功率:7KW


加熱區

加熱區長度:900mm (三溫區:229mm+457mm+229mm)


加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)


法蘭

·采用鉸鏈式法蘭和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr

 

·法蘭1包含不銹鋼針形閥(點擊圖一查看訂購轉接頭)

 

·法蘭2包含kf5真空接口,方便連接真空泵

 

·法蘭采用水冷法蘭。當工作溫度超過900°C時,需要使用冷卻水(圖二)

 

·可選:您可在我公司選購液相氣體發生器,可配合管式爐及CVD系統使用(圖三)

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爐管尺寸

·高純石英管尺寸:

 

·內管尺寸:100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)

 

·外管尺寸:130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)

 

·使用時需放置管堵,點擊下圖查看詳情

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可選

·可在我公司選購石墨烯生長銅箔(圖一)

 

·可在我公司選購移動爐架放置設備(圖二)

 

·可在我公司選購質子流量計、真空機組等,支撐設備的同時可向設備內通入各種混合氣體(圖三)

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密封法蘭

·一對SS304真空法蘭與雙高溫硅O形環包括在內

 

·兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上(圖一)

 

·一個真空壓力表安裝在一側法蘭(圖一)

 

·可選:您可以選購kf25真空口法蘭(圖二)

 

·可選:您可以訂購法蘭支架(圖三)

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溫控系統

·包含一款YD518P型溫度控制器

 

·PID自動控溫系統

 

·智能化30段可編程控制

 

·控溫精度:±1℃

 

·三個溫區分別有三個獨立的溫控系統控制

 

·默認DB9 PC通信連接端口

 

·通過MET認證

 

·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據

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外形尺寸

2100 L x 450W x 630 H mm


凈重

90Kg


質保期

一年保修,終身技術支持。


特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

真空系統

·通過機械泵可達到50mTorr(參考值,詳情請點擊

 

·通過分子泵泵可達到10E-5 Torr(參考值,詳情請點擊

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·可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染

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質量認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

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使用注意事項

·爐管內氣壓不可高于0.02MPa

 

·由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

 

·當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當

 

·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

 

·石英管的長時間使用溫度<1100℃

 

·對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


應用提示

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭

 

·為了在管式爐內獲得準確的溫度,在使用前需要校準溫度,請點擊這里了解如何使用


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