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鄭州科佳電爐有限公司


1600 CVD 系統

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具體成交價以合同協議為準

產品型號KJ-T1600 CVD

品       牌

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更新時間:2022-09-02 09:40:37瀏覽次數:290次

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產品簡介

產品介紹:KJ-CVD是一種分體式管式爐,配備60mm直徑的石英管、真空泵和四通道質量流量計氣體流動系統

詳細介紹

產品介紹:
    KJ-CVD 是一種分體式管式爐,配備 60mm 直徑的石英管、真空泵和四通道質量流量計氣體流動系統。 可混合1-6種氣體進行CVD。
 
應用范圍:
    此款CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

技術參數:

產品名稱1600 CVD 系統
產品型號KJ-T1600 CVD
部分:標準部分
管式爐顯示LED
爐體分體式和上部可以打開
溫度1600℃ 
工作溫度≤1500℃
升溫速率 0~10℃/min
溫區300mm
加熱元件MoSi2加熱元件
熱電偶B 型
溫度控制精度±1℃
爐管80 x 1000mm (OD x minimum L)
材質:高純氧化鋁管
溫度控制通過可控硅功率控制進行PID自動控制
加熱曲線30 步可編程
真空法蘭帶閥門的不銹鋼真空法蘭
電壓與功率220V, 50 Hz, 單相 4KW
真空泵系統旋片真空泵+擴散真空泵真空泵組:極限真空10-6 Torr。
旋片真空泵和擴散真空泵將設計成推車帶輪子。
質量流量計四個精密質量流量計:
底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側安裝6個不銹鋼針閥,手動控制6種氣體混合

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 


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