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長沙沛鈺進出品貿易有限公司
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產品詳情型號：ALD-1200X-R-4產品概述：ALD-1200X--R-4是一款4英寸ALD旋轉管式爐系統，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發生器以及4通道質子流量計控制系統，可利用此系統進行粉末表面的ALD和CVD包覆
型號：ALD-1200X-R-4
產品概述：ALD-1200X--R-4是一款4英寸ALD旋轉管式爐系統，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發生器以及4通道質子流量計控制系統，可利用此系統進行粉末表面的ALD和CVD包覆。該系統簡潔的設計使得更多的科研院所能夠在可負擔的低成本情況下實現ALD工藝實驗。
| 控制面板 | l 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制
l 兩個ALD進氣閥
l 一個精密的4通道質子流量計系統
l 請點擊下圖查看控制面板（點擊圖片查看詳細資料） |
| ALD進氣閥 | 兩個ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關閉） |
| 精密液體氣相發生器 | 精密液體氣相發生器包含在本系統中并且連接到ALD進氣閥 |
| 旋轉管式爐 | l 連續工作的溫度為1100℃
l 兩個溫區由兩個獨立的溫控系統來控制，而且都為PID30段程序化控溫
l 輸入電壓：208-240V AC，單向
l 功率為4KW
l 爐管旋轉速度：0-10rpm
l 回轉爐爐管結構如下圖所示： |
| 真空計 | 公司具有多種真空機可供選（點擊下圖鏈接） |
| 真空泵（選配） |
公司具有多種真空泵可供選配（點擊下圖鏈接） |
| 更多可選配件 | l 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統（圖1.2）
l 可選購恒溫控制模塊（圖3）
l 可選購金石英測試晶體（圖4）以及熱電偶用于薄膜厚度以及溫度的測試 |
| 質保期 | 一年保質期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
| 質量認證 | 所有電器元件（＞24V）均滿足CE/UL/MET/CSA認證,如您另付費用，我們可保證單臺儀器通過TUV（UL61010）或CSA認證 |
| 注意事項 | l 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
l 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
l 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態
l 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
l 點擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭 |
| 相關應用 | 可利用ALD系統顯著降低石榴石結構固態電解質與電極之間的高的固固界面阻抗，相關文獻：Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries |
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