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熱式氣體質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

熱式氣體質(zhì)量流量控制器

詳細(xì)介紹

特性：LFMFC產(chǎn)品采用單電源供電(12~24VDC)；
可以連二次儀表顯示；具有多氣體多量程，高精度，極低零漂，軟起動(dòng)功能及強(qiáng).

1、輸出方式：外部 0~5VDC 4~20 mA ；

LFMFC數(shù)字型質(zhì)量流量控制器主要指標(biāo):
流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（10、50、100 ,200,500,700）SLM
準(zhǔn)確度： ±1%F.S.
線性： ±0.5%F.S.
重復(fù)精度： ±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間： ≤1Sec
工作壓差范圍： (0.05~0.3)MPa
耐壓： 10Mpa
工作環(huán)境溫度： 5~65℃
電氣連接： 8 針（小型圓插頭）外形尺寸：132*28*85mm
輸入/輸出信號(hào) Digital：； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
電源： 12~24VDC ；1A
標(biāo)準(zhǔn)接頭： 10，12mm雙卡套