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青島邁威微波化學設備有限公司

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MCG-M10HBP 微波法氣相石墨烯生長爐

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產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地

更新時間:2022-02-11 10:42:52瀏覽次數:169次

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產品特點1、本產品采用氣相法制備石墨烯材料方式,采用微波熱等離子體技術,適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產

產品特點

1、本產品采用氣相法制備石墨烯材料方式,采用微波熱等離子體技術,適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產。
2、本產品等離子生長腔體采用潔凈石英管結構,避免生產過程中的雜質污染,確保產品品質。
3、本產品設計連續氣相生長功能,采用頂部4路進氣混氣,底部排料的結構。
4、本產品采用真空和微正壓系統設計,反應室與外界密封設計,適合微波等離子體狀態。
5、本產品設置真空管路和防爆泄壓結構,支持真空、氣氛和微正壓環境。
6、本產品采用微波等離子體技術,功率智能調節,工藝性更穩定。
7、本產品采用PLC程序控制,觸摸屏操作,工藝路線可實現自動化控制,工藝數據可讀取。

技術參數

產品名稱

氣相石墨烯生長爐

型號

MCG-M10HBP

技術原理

微波等離子體(MPCVD)

設備形式

立式管道型,多路氣氛,高真空密封

進出料形式

進料:氣態/ 出料:固態

反應區尺寸

Φ200*500 mm

微波系統

微波功率10kW/2450MHz,系統水冷

產成品

石墨烯粉體,產量和特性依據具體工藝要求

監控視窗

垂直三個觀察窗

控制方式

PLC控制系統,彩色觸摸屏操作,多參數顯示

安全措施

產品氣體管路系統防爆設計

微波防護

微波泄漏量:<5mW/cm2 (國標)

設備外尺寸

900×900×1700mm(長×寬×高)

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