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德國徠卡 離子減薄儀 EM RES102

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產品型號EM RES102

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更新時間:2022-09-07 14:40:40瀏覽次數:182次

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產品簡介

LeicaEMRES102通過LeicaEMRES102通過離子槍激發獲得離子束,以一定入射角度對樣品進行轟擊,以去除樣品表面原子,從而實現對樣品的離子束加工

詳細介紹

Leica EM RES102 通過
Leica EM RES102 通過離子槍激發獲得離子束,以一定入射角度對樣品進行轟擊,以去除樣品表面原子,從而實現對樣品的離子束加工。
Leica EM RES102主要功能為:
對無機薄片樣品進行離子減薄,使得薄片樣品可被透射電子穿過,從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察;
對無機塊狀樣品進行離子束拋光、離子束刻蝕,樣品表面離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內部結構信息。
主要技術參數:
? 具有2把離子槍,離子束能量為0.8keV-10keV,相對位置,可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120°至 210°,離子束加工角度0°至90°,樣品
平面擺動角度<>
? 可選配樣品臺:TEM樣品臺(?3.0mm或?2.3mm),FIB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品臺(對樣品35°或90°斜坡切割)等
? SEM樣品臺可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
? 全無油真空系統,樣品室帶有預抽室,保證樣品交換時間<>
? 全電腦控制,觸摸屏操作界面,內置視頻觀察系統,可實時觀察樣品處理過程


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