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鄭州成越科學儀器有限公司


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大功率程控伺服勻膠機

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號CY-HP-PC-S

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:汪紀彬查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-12-10 15:36:15瀏覽次數(shù):2313次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:104條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:汪紀彬

產(chǎn)品簡介

簡單介紹: CY-HP-PC-S大功率程控伺服勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設備,它可以實現(xiàn)在價值百萬美元的設備上才可能達到的穩(wěn)定性和均勻性,大功率程控伺服勻膠機能夠處理12寸以內(nèi)的圓晶基片。

詳細介紹

詳情介紹:

大功率程控伺服勻膠機主要特點:

機身采用不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;

工業(yè)級別400瓦伺服電機系統(tǒng),采用于trCYk設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;

可達到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和的可重復性。

大功率程控伺服勻膠機技術(shù)參數(shù):

旋涂程序:可以至多存儲100組程序,每組100步,每個步驟可**到0.1秒

轉(zhuǎn)動速度:0-5000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm

旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s

馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:<±1rpm

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復性:1rpm

工藝時間設定:0-3000 sec/step,時間設置精度:0.1sec

支持wafer尺寸25px-300mm(12''圓晶)

旋涂作業(yè)均勻性:<±3%在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)

CY-HP-PC-S大功率程伺服勻膠機優(yōu)點:

內(nèi)部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

Telon ®/polyethylene“密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。

標準配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進行定制。

采用工業(yè)級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。

排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。

透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

免責聲明

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關(guān)鍵詞:勻膠機 伺服電機

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