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鄭州成越科學儀器有限公司
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簡單介紹： 8.5"實驗室等離子清洗機是一種等離子體清洗劑或蝕刻裝置，直徑8.5英寸x 14英寸長石英腔和0 - 80W可變射頻功率。8.5"實驗室等離子清洗機采用空氣、氧氣或氬氣等離子體對基體或晶圓片表面的納米級有機污染物進行清洗和去除。在高射頻功率下，有機去除率zui高可達20nm /min左右。8.5"實驗室等離子清洗機是在外延薄膜沉積前......
8.5"實驗室等離子清洗機配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等保護氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理，將對生長具有顯著的作用。
8.5"實驗室等離子清洗機技術參數：
| 輸入功率 | ? AC 220V , 50/60 Hz, ? 射頻功率：80 W Max.（標準） ? 真空泵：正常550W,啟動750W ? 總功率：830W max. ? 工作電流≤3A |
| 射頻功率 | ? 射頻功率可在0-80W范圍內調節 ? 射頻：13,56 MH ? 可選：可根據要求提供300 W射頻電源，需額外收費 |
| 等離子室 | ? 8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室 ? 體積: 12 L ? 鉸鏈式前法蘭由鋁制成 ? 2.3"直徑（60mm）石英窗口，便于觀察 ? 屏蔽RF輻射，零RF泄漏 |
| 控制面板 | ? 6"彩色觸摸屏，可自動控制所有參數，用于等離子清潔，如真空度，氣體流速，RF功率水平和清潔時間。 ? 內置一個通道質量流量計（0-500ml /分鐘），控制氣體流量+/- 0.5 ml / m |
| 真空泵和閥門 | ? 包含排氣過濾器，KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用 ? *終總壓力為50 mTorr |
| 惰性氣體 | ? 可以選擇許多惰性氣體進行等離子體清潔，如N2，Ar，空氣和混合氣體，取決于將要處理的材料類型。（不包括在包裝內） ? 等離子清潔器不得使用 |
| 總體尺寸 | 620 L×600 W×600 H, mm |
| 保證 | 一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修) |
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