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柜谷科技發展(上海)有限公司
等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS
13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 高性能型號,調取數據簡單,以電子材料為中心,可對應 多種用途。
特征
● 可變更電極構造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
● 可根據需求規格提供定制。
用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除
內槽
規格
型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
有效電極尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極(獨立) | 平板(多目的) |
反應氣體 | 聚合控制器2系統(填充氣路另行安裝) | ||
真空泵(標配) | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000 & 1500L/min |
安全裝置 | 門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 |
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