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深圳市中圖儀器股份有限公司


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中圖儀器非接觸3d光學輪廓儀SuperviewW1

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產品型號SuperviewW1

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更新時間:2023-02-12 09:11:11瀏覽次數:352次

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產品簡介

中圖儀器SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀采用白光干涉技術結合可選的高精度相移干涉技術以及針對粗糙樣品開發出的綠光干涉技術,并以實惠的價格實現樣品表面微納米三維形貌的一鍵測量

詳細介紹

中圖儀器SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀采用白光干涉技術結合可選的高精度相移干涉技術以及針對粗糙樣品開發出的綠光干涉技術,并以實惠的價格實現樣品表面微納米三維形貌的一鍵測量。

SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀設計簡潔、用途多樣。它能夠測量不同的材質,結構,表面粗糙度和波度,幾乎涵蓋所有類型的表面形貌,適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、孔隙間隙、表面缺陷、波紋度、臺階高度、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
 

它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測量應用。分辨率0.1μm,重復性0.1%,應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。

應用范例

產品參數

 
性能特征
1、高精度、高重復性
3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統,以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統,保證了測量精度和測量重復性。

2、一體化操作的測量分析軟件
測量數據自動統計,可視化窗口,結合自定義分析模板的自動化測量功能,實現了快速批量測量的功能,自動完成多區域的測量與分析過程。

3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施
(1)軟件防撞保護ZSTOP
即在Z軸上設置停止位,設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當鏡頭運動到該位置時,就立刻停止不再向下運動,起到保護樣品和鏡頭的作用。
(2)Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器,當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時,觸發感應器,鏡頭與樣品表面變為軟接觸,并觸發緊急停止開關,不再響應向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護,守護設備和產品,也守護每一分價值和信任。
 


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