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光學輪廓儀，大尺寸三維微觀形貌測量儀SuperViewW3

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更新時間：2023-02-08 09:04:19瀏覽次數：596次

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產品簡介

SuperViewW3光學輪廓儀主要是以非接觸的掃描方式來實現針對樣品表面的高重復精度的3D測量，獲取樣品表面質量的2D、3D數據

詳細介紹

SuperViewW3光學輪廓儀主要是以非接觸的掃描方式來實現針對樣品表面的高重復精度的3D測量，獲取樣品表面質量的2D、3D數據。可廣泛應用于對器件表面質量要求高的半導體、光學加工、3C玻璃屏、薄膜制備、微納器件、納米材料等工業企業領域，以及高校、科研院和計量機構等研究、檢測型單位。

產品功能

1) 樣件測量能力：滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量；
2) 自動測量功能：自動單區域測量功能、自動多區域測量功能、自動拼接測量功能；
3) 編程測量功能：可預先配置數據處理和分析步驟，結合自動測量功能，實現一鍵測量；
4) 數據處理功能：提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；
5) 數據分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
6) 批量分析功能：可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類型參數實現一鍵批量分析；

作為大尺寸三維微觀形貌測量儀，SuperViewW3光學輪廓儀的X/Y方向標準行程為300*300mm，真空吸附盤能檢測12寸及以下尺寸的Wafer；氣浮隔振設計&吸音材質隔離設計，能確保儀器在千級車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動干擾，穩定工作。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高校科研院所等領域中。

半導體領域專項產品功能

1）同步支持6、8、12英寸三種規格的晶圓片測量，并可一鍵實現三種規格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓；
2）具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能，能夠一鍵測量數十個小區域的粗糙度求取均值；
3）具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量，覆蓋從1nm~1mm的測量范圍，實現高精度測量；

SuperViewW3光學輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

關鍵詞：光學輪廓儀輪廓儀