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深圳市科晶智達科技有限公司
深圳市科晶智達科技有限公司
簡要描述：VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。
| 技術參數 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 主要參數 |
● 輸入電源：220V 通用 功率：< 1KW ● 工作電流： 濺射電流：0-50 mA可調 ● 單次工作時間：0-5分鐘可調 ● 靶頭數目：3個 ● 輸出電壓：1600V DC ● 樣品臺加熱溫度：500℃（選配）
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濺射腔體 |
● 采用石英腔體，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H ● 密封：采用O形密封圈密封
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樣品臺 |
● 一個外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片，可以電動控制移動三個位置 ● 濺射距離：25 - 40毫米可調 ● 可選購加熱型樣品臺（MAX溫度可到500℃） ● PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上）
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控制面板 |
● 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏 ● 一個控制面板可以控制所有的參數,包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度
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真空泵（選配） |
● 用機械泵真空度達 50 mtorr（僅供參考，詳情請點擊） ● 用分子泵真空度可達 10-4 torr（僅供參考，詳情請點擊）
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| 進氣口 |
一個精密可調針閥安裝在進氣口，以實現方便的調節進氣量
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靶材 |
● 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm ● 可在本公司選購靶材,具體請點擊鏈接
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| 外形尺寸 |
● 460mm×330mm×540mm (L×W×H) ● 凈重:50KG（不包括泵）
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| 質保期 |
一年保修，終身技術支持 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內
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| 質量認證 | CE認證
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| 各種靶材的參數（僅供參考） |
對于濺射各種金屬靶材，需要摸索THE BEST 的濺射參數，下表是本公司實驗所設置的參數（參考值， 詳情請點擊） | ||||
| 靶材種類 | 真空度（Pa） | 濺射電流（mA） | 時間（s） | 濺射次數 | |
| Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | |
| Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | |
| 使用注意事項 |
● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機 或熱蒸發鍍膜機。點擊下面圖片查看細節 ● 有時為了達到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 ● 為了得到較好的薄膜質量，必須通入高純氣體（建議> 5N） ● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈 ● 要達到薄膜與基底良好結合，請在濺射前清潔基材表面 ● 超聲波清洗（詳細參數點擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮氣干燥（4） 真空烘箱除去水分。 ● 等離子清洗（詳細參數點擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學鍵，可祛除額外的污染物 ● 制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應用于改善金屬和合金的附著力
超聲波清洗機 等離子清洗機 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀 手套箱
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| 警告 |
● 注意：產品內部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體。 ● 氣瓶上應安裝減壓閥（設備標配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。 ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶材 | ||||
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