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500W直流濺射電源DC-500-LD

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更新時間：2023-06-30 19:58:12瀏覽次數：150次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

500W直流濺射電源DC-500-LD

詳細介紹

產品介紹：500W直流濺射電源DC-500-LD主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀，主要為濺射儀提供直流電源，配合磁控濺射頭達到濺射靶材的目的。工作過程中輸出功率可達到500W，輸出電壓可達DC600V，電壓和電流的分辨都，可以滿足對絕大多數導電材料的濺射的目的。500W直流濺射電源DC-500-LD配用本司的磁控濺射頭，再搭配循環水冷機及高真空系統自行搭建磁控濺射鍍膜儀對樣品進行鍍膜操作。500W直流濺射電源DC-500-LD是磁控濺射儀中的組成部分。

產品型號	500W直流濺射電源DC-500-LD
技術參數	1、輸入電壓：AC 220V 2、輸出功率：500W 3、輸出電壓：DC 600V 4、電壓分辨率：DC 1.0V 5、輸出電流：DC 0.8A 6、電流分辨率：1mA 7、控制精度：±1%
產品規格	尺寸：440mm×160mm×440mm
可選配件	1、2"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時購買300W射頻發射器和2"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內徑為0.75"，可將濺射　　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環水冷機，流量為16L/min，水箱容積為6L。