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成都沃特塞恩電子技術有限公司


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爭光（GLORY）系列射頻電源-1.5kW

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更新時間：2023-06-07 10:32:16瀏覽次數：208次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：47條

所在地區：四川成都市

聯系人：宛女士 （市場專員）

產品簡介

爭光（GLORY）系列射頻電源-1.5kW

詳細介紹

技術參數

項目

通用指標

頻率

2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz

頻率誤差

0.005%

額定輸出功率

1500W

輸出功率接范圍  

10-1500W

功率步進

1W

功率重復性（同一電源）

±1%

整機效率（額定功率下）

60%

散熱方式

風冷散熱

通信接口

Analog/Ether CAT/RS232/RS485/Ether NET/local

功率模式  

Forward power；load power


欲知更多詳細技術參數請點擊“立即咨詢"聯系我司客服進行了解！

工作模式

連續波

應用范圍

PECVD薄膜沉積

ICP/CCP干法刻蝕

等離子清洗

材料改性



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