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沈陽科晶自動化設備有限公司
SKJ-50晶體生長爐
產品簡介:SKJ-50晶體生長爐是用提拉法生長高質量氧化物單晶及金屬單晶,如藍寶石、GGG、YAG、SrLaAlO4、LaAlO3、Si、Ge等,可長出晶體尺寸達3" 。
產品型號 | SKJ-50晶體生長爐 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關),必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭) 4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風裝置:需要 |
主要特點 | 1、與同類相比屬于小型晶體生長爐,適合于大專院校、研究所使用。 2、電子稱在生長過程中可自動控制晶體的直徑。 |
技術參數 | 1、電源:三相380V 25KW 2、感應射頻:功率25KW,射頻0.2KHz-20KHz 3、真空腔體:Ø500mm×700mm 4、真空度:10-3torr(機械泵),10-5torr(擴散泵) 5、提拉行程:500mm 6、提拉速度:0.1mm/h-20mm/h 7、籽晶桿旋轉速度:0-40rpm 8、可熔融溫度:2100℃ 9、控溫精度:<±0.2℃ 10、冷卻水:所需水壓0.13MPa-0.18MPa,所需流量60L/min 11、移動速度:1mm/h-10mm/h可調 12、快速移動:手動 13、結晶轉速:1rpm-50rpm 14、真空系統:機械泵和擴散泵 15、極限真空度:10-5torr |
產品規格 | 1、爐體:880mm×1250mm×2850mm 2、控制柜:680mm×540mm×1700mm 3、中頻柜:1100mm×500mm×1500mm 4、總重:1500kg |
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