磁控濺射工作原理:
低氣壓下氣體的輝光放電現象(與直流相同),顯著區別:
1. 靶材后有磁鐵,直流沒有;
2. 靶材電壓為-600V左右,顯著低于直流;
3. 絕大部分電子和負離子在電場和磁場的共同作用下,做螺旋線運動,單個電子電離的氣體分子大大多于直流,因此,在較好的真空、較低的電壓下即可獲得較大的電流;
4. 在磁場在作用下,絕大部分電子和部分負離子落在靶材附近,無法到達樣品臺,對樣品基本沒有熱損傷
工作特點:濺射電流與壓力無關、基本沒有熱損傷。
應用領域:適用于所有樣品,尤其是溫度敏感性樣品、如生物、聚合物等樣品
工作時真空度好,鍍膜的顆粒度更小,更適用場發射等高分辨觀測
電極制備。
GVC-2000鍍膜后電鏡效果圖,高分辨圖片中,無明顯顆粒感,適配高分辨掃描電鏡,充分體現表面細節特征
(左)
(右)
上面兩張圖片為鋰電池隔膜樣品的電鏡圖片:
左側圖片為GVC-2000噴金后的電鏡觀測圖,可以看出,樣品形貌真實完整;
右側圖片為其他設備噴金后的電鏡觀測圖片,可以看出,熱損傷嚴重,幾乎無法識別為同種樣品。
鍍膜顆粒度:
GVC-2000離子濺射儀
金靶
顆粒尺寸6~10nm
產品特點:
一、安全
1.高壓線多重防護,外加8×5透明真空管,安全;
2.外殼良好接地;
3.真空互鎖;
4.電流>50mA,真空度超過100Pa,系統自動切斷濺射;
5.實體按鍵,安全;
6.濺射頭采用阻尼設計,任意位置懸停
二、注重用戶體驗
1.5英寸液晶屏,簡潔明了;
2.最多設置兩個參數,即可開始工作;
3.參數設定后,系統自動調整真空度,無需人工調節針閥,簡單方便;
4.自動放氣;
5.樣品臺高度1秒調節。
三、信息量大
1.濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實時顯示,簡單直觀;
2.靶材使用時間,儀器使用時間系統自動記錄,直觀了解設備的運行狀態。
四、快速上手
設備內置操作向導,在操作人員更換時,無需培訓,即可快速熟練操作設備。
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