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束倫(上海)技術服務有限公司


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飛行時間二次離子質譜儀

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產品型號ToF SIMS 5-100/ION TOF ToF SIMS 5-100

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更新時間:2022-08-28 10:35:48瀏覽次數:237次

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產品簡介

飛行時間二次離子質譜儀

詳細介紹

性能指標

質量分辨率:29Si>12000,在m/z>200附近可以達17000以上;檢測極限:ppm~ ppb級;質量范圍:~12000;檢測范圍:所有元素(含H、He)及同位素;橫向分辨率<70nm, 深度分辨率<1nm

主要應用

譜圖檢測、化學成分成像及深度剖析測試,可應用于分析有機、無機、納米材料(特別是半導體、電池材料)、微電子、生物醫學、地質/考古、冶金、環境、人工智能等固體材料。 納米尺度下,對固體材料、生物組織或細胞進行化學成像分析;半導體材料痕量雜質分析(ppm至ppb);薄膜樣品三維空間尺度化學成分分布及成像。

樣品要求

1、不能被測試的樣品種類: 放射性的樣品;真空中會釋放大量氣體、尤其釋放的氣體對不銹鋼具有腐蝕性的樣品,比如可以釋放出HCl+H2O,有化學毒性和生物毒性的樣品;低熔點樣品,如松香等,高密度束流濺射后可能會熔化;在制樣過程中容易快速潮解的樣品。

2、樣品物性/外形/尺寸

(1)固體樣品(導體、半導體和絕緣體)。其中薄膜、片狀、塊體:長×寬尺寸約10 mm × 10 mm~12 mm × 12 mm,厚度不大于5mm;

(2)盡量保持樣品上下表面平整(尤其待測面,越平整越好);

(3)粉末樣品壓片后送樣。壓片時使用清潔的鋁箔包裹粉末樣品,以避免在加壓過程樣品表面被污染,壓片后的尺寸要求見(1)條。

(4)通過溶液涂膜方法制備薄膜樣品時,使用表面平整的導體或半導體作為襯底,例如:Si片, 鍍金的Si片,或銀片等。

3、送樣時注意事項

(1)送樣時,請附上打印的預約單及送樣記錄單;

(2)待測試的樣品表面不能被沾污(如手摸拿,碰觸污染物等,制樣及裝樣過程中均需注意),所有樣品在送樣之前必須提前進行真空干燥或者冷凍干燥;

(3)樣品中不得含有乙酸乙酯、氯仿、二氯甲烷、苯、環己烷、DMSO等有機試劑;

(4)易被氧化或易吸水樣品,在送樣過程中應注意隔離空氣(如放保干器, 或高純Ar氣袋 ),或事先與我們聯系,商量解決辦法;

(5)用帶蓋的玻璃小試管、小容量瓶等容器裝樣;不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的膠帶或膠面和紙袋,以免硅樹脂或纖維污染樣品表面。也可以使用干凈的鋁箔直接包裹樣品后放入干凈的玻璃器皿中送樣;

(6)如果高分子材料中含有殘余的揮發性有機試劑分子或小分子單體,務必先行在真空烘箱中抽除這些物質。如果樣品置入ToF-SIMS預抽真空腔體內,經過一夜抽真空后依然無法抽至1e-7mbar以下,該樣品的測試將被取消;

(7)對薄膜、片狀、塊體樣品標記出測試面;千萬注意:不能使用墨水筆在樣品上標記測試面,以免墨水中的有機試劑污染待測樣品表面!!!對于金屬或半導體,高分子材料片狀,建議使用刀片或金剛石刻刀在不測的一面畫"+"字; 另外,樣品袋上要用標簽紙標上預約人姓名;

(8)寫明分析測試的要求,如待測成分,送樣信息等(見送樣記錄單),如果樣品有易變性(如被氧化,吸附等),易熔化等情況應說明清楚(可在送樣記錄單中說明);

(9)初次實驗需要決定分析條件情況,送樣者若能到場,可能有助于測試的進行。 

儀器說明

儀器名稱:飛行時間二次離子質譜儀;

生產廠家:德國ION-TOF GmbH

儀器型號:TOF SIMS 5 配備高效電子中和槍,可精確分析絕緣材料;分析源配備Bi源分析槍(LMIG)及氬原子團簇離子槍(GCIB),濺射源配備O源、Cs源及GCIB。

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