Gaertner Stokes Waferskan橢偏儀LSE-WS
Gaertner stokes waferskan™ ellipsometer LSE-WS
300毫米Stokes Waferskan™橢圓儀
LSE-WS Stokes WAFERSKAN橢圓儀是一種高速薄膜厚度測繪系統，每秒測量一個位置，包括載物臺行程！它使用*的 StokesMeter™技術（曾榮獲 Photonics Spectra和R＆D 100新產品獎），可在任何300mm的晶圓上提供無傾斜，無焦點，2D / 3D色彩厚度和索引圖像。該單元的優雅設計提供了的易用性和瞬時測量功能，其成本遠低于傳統的生產控制計量系統。LSE-WS價格合理，是高精度掃描橢圓儀中的流行選擇。
特征
高精度和高性能
LSE-WS模型建立在經過生產驗證的Gaertner WAFERSKAN™橢偏儀系列產品之上，并在范圍內廣泛使用。從薄的柵氧化物到只有幾十埃厚的聚酰亞胺和光致抗蝕劑，蓋特納以提供精確，可靠的結果而聞名。LSE-WS模型設定了高性能標準，可以滿足當今要求更高的計量應用。
諸如氧化物，氮化物和光致抗蝕劑的單層膜可以被測量到亞埃精度。可以測量兩層，三層和四層薄膜，這些薄膜具有已知的底層，例如頂層氧化層和頂層氧化層，或者頂層的厚度和折射率。Windows™軟件增強了易用性和理解力。
出色的圖形
測量結果顯示在計算機顯示屏上，可以發送到打印機。存儲在文本數據文件中的結果以2D等高線或3D地圖圖像顯示。圖像可以旋轉，傾斜，縮小或放大以立即查看和解釋。
膜厚的二維輪廓圖
膜厚的3D輪廓圖
主屏幕
易于使用的
LSE-WS Stokes WAFERSKAN橢圓儀操作簡單。用戶與單個主程序屏幕交互，因此設置易于理解并且可以快速進行測量。可以輕松訪問存儲的配方以掃描不同的膠片和圖案。只需單擊一下鼠標，即可自動掃描類似的晶圓。操作員可以選擇1、5、9或49點圓形測量，XY網格，直徑或具有多達1000個測量點的極性掃描，并設置晶片邊緣排除。
高精度平臺
高質量步進電機平臺可提供精確且可重復的位置。晶片通過真空保持在光學平臺上。平臺在編程的計算機控制下以快速而精確的步驟自動移動。包括載物臺行程在內的每點測量時間少于一秒。步進精度優于10微米，可輕松設置覆蓋區域和該區域內的點以進行自動掃描。
速度和穩定性
LSE-WS橢偏儀通過以70°入射角反射來自樣品表面的偏振激光束進行測量，并幾乎瞬時確定由樣品引起的偏振變化。由于 StokesMeter™ 測量頭中沒有活動部件，因此即使連續使用數月也可以進行準確且可重復的測量。通過使用穩定的，光譜精確的，高信噪比的HeNe氣體激光光源，可以進一步提高測量精度。
stokesmeter™技術的說明
這種*的設備無需移動部件，也不需要調制器，可以快速，準確地確定測量光束的完整偏振狀態。
上圖顯示了用于同時測量所有四個Stokes光參數的StokesMeter™光旋光儀。待確定其偏振狀態的光束以傾斜的入射角連續入射三個光電探測器表面，每個光電探測器表面均被部分光譜反射，并且每個光電探測器表面均產生與光電探測器的分數成比例的電信號。它吸收的輻射。第四光電探測器基本上吸收光，并檢測其余的光。這樣形成的四個輸出形成一個4x1信號矢量I，它與輸入斯托克斯矢量 S線性相關，即I = AS。所以，小號通過獲得S =甲（-1）予。4x4儀器矩陣 A必須是非奇異的，這要求前三個檢測器表面的入射平面都不同。對于給定的四個檢測器布置，可以通過校準來計算或確定A。
技術優勢
簡單，緊湊的 StokesMeter™ 取代了由鼓，棱鏡，編碼器，開關，電動機和檢測器及其相關電子設備組成的典型旋轉分析儀組件。另外，消除了偏振器臂上的波片機構。這樣就可以實現快速，精確，穩定的無運動部件橢偏儀。
斯托克斯（Stokes）橢圓儀的一項出色功能是對由于樣品不平整而導致的角光束偏差的微小變化進行補償。這種補償允許在整個晶片表面上進行快速，連續掃描，而無需暫停以校正聚焦和傾斜。當掃描相似的晶片時，高速，無傾斜，無焦點，自動操作是明顯的好處。
上面顯示的可選LMS Microspot系統
可選的Microspot System LMS，
用于通過15微米測量激光束直徑測量晶圓上的小區域。10微米載物臺定位和CCD攝像機可在PC上查看測量區域，從而允許使用*的 StokesMeter™ 技術查看和測量小至15 X 45微米的區域。
可選的小光點LSS光學系統 將樣品上的標準1毫米激光束減少到0.25 x 0.75毫米
可選的L-SCAT太陽能電池/
散射樣品測量 太陽能電池行業中常見的粗糙散射樣品很難用大多數橢圓偏振儀精確測量，因為信號強度損失且測量光束去極化。盡管有提高信號強度和捕獲更多散射光的方法，但是處理去極化要困難得多，理想情況下，需要確定極化的完整狀態，即測量4個斯托克斯參數 s0， s1， s2， s3。蓋特納斯托克斯橢偏做到這一點自然是我們 StokesMeter ? 偏振計用作橢圓儀分析儀。這使Stokes橢偏儀具有的功能，可以立即將測量光束的偏振和非偏振分量分開，從而僅基于光的全部偏振分量就可以對薄膜厚度和折射率進行高精度測量。L-SCAT散射選項包括對硬件的修改，可以捕獲更多來自粗糙，有紋理的表面的散射光，并且可以顯示偏振度P的程序。 但是請記住，某些樣本可能太粗糙而散射太多的光用橢圓偏振法測量。
可選的Stokes校準套件L118-KIT
使用4個Gaertner可追溯晶圓加玻璃（L118G-KIT）或
4個NIST可追溯晶圓加玻璃（L118N-KIT）重新校準任何Stokes橢圓儀。 中號OST用戶將 不需要橢偏儀校準。適用于具有極其嚴格的公差和法規遵從用戶的的半導體制造商。
Stokes Waferskan™橢偏儀LSE-WS規格
| 對準： | 傾斜度和工作臺高度通過計算機校準屏幕顯示。專有的傾斜和工作臺高度系統可校正普通的樣品傾斜和不平整度，而無需重新調整樣品或復雜，昂貴且緩慢的自動聚焦系統。 |
| 入射角： | 70度 |
| 測量方法： | *的StokesMeter無需任何移動部件和調制器，只需4個固定式硅探測器即可讀取完整的光束偏振，因此測量準確且穩定。 |
| 測量時間： | 每點1秒，包括舞臺行程。 |
| 測量激光： | 光譜精確，穩定，持久的HeNe 6328A激光器，光束直徑為1毫米（在70的晶片上為1x3毫米，典型壽命為3年以上。NIST使用類似的光源來生成校準標準。
可選的Microspot具有15 x 45微米的光斑， CCD攝像機查看。 |
| 對準激光： | 670 nm激光二極管 |
| 軟件： | 2D / 3D彩色圖形可在Windows™下運行 |
| 樣品（晶圓）尺寸： | 直徑標準可達300mm。保持真空（需要5英寸汞柱）。 |
| 階段： | 精密步進電機在用戶編程的計算機控制下，帶有手動按鈕超馳。150mm線性和360°旋轉運動覆蓋了樣品上的任何點。可傾斜的桌子允許在X和Y平面上校正高達1°的樣品不平整度。每點1秒以300mm的尺寸映射任何尺寸的晶片。 |
| 舞臺精度： | 10微米以內 |
| 數據輸出： | 2D / 3D彩色圖像的膠片厚度，折射率和位置，以用于監視，文件或打印機。文本數據文件很容易導出到其他程序。 |
| 電腦： | 隨附Windows™10筆記本電腦 |
| 膜厚范圍： | 基板或1、2或3個已知子層上的0-60,000埃 |
| 精度和重復性： | 在大多數測量范圍內低于亞埃。 |
| 折光率： | 在大多數測量范圍內為±0.0005。 |
| 功率： | 115V，100V，220V，240V（50/60 Hz） |
| 尺寸（LSE-WS）： | 高度：18英寸寬度：28英寸深度：20英寸
凈重：85磅。運輸重量：200磅。 |
| CE合規性： | S系列橢偏儀符合歐洲安全指令并帶有CE標志。 |
| CDRH合規性： | 蓋特納（Gaertner）提供的所有激光橢圓儀均符合CDRH要求21CFR 1040，用于發出小于1 mW的II類激光產品或小于5 mW的IIIb類激光產品。與任何明亮的光源（例如太陽燈或弧光燈）一樣，操作員不得直接凝視激光束或從高反射表面反射激光束。 |
| 保證： | 1年保修涵蓋所有零件和人工，不包括運輸費用 |
