Brooks Instrument GF80 系列金屬密封熱質量流量控制器和儀表
GF80 系列 面議污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
上海晉普實業有限公司
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對于許多工業和半導體加工過程，性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質量流量控制器擁有以下兩個特點：設計采用與的 GF100 系列響應速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術，該產品是高性價比運營的正確選擇。另外，金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的全部優勢。
長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
1 秒內穩定
滿量程流速高達 300 slpm
全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理
耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發生熱分解的氣體
可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺設備即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
通過有源溫度補償實現的溫度系數規范
內嵌式常規自檢功能和獨立的診斷/維護端口
帶有 VCR 配件的細線體設計
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
1 秒完成流量穩定，消除廢氣和過程變量影響
未采用會發生氧滲透并且使用一定時間之后需要進行更換的彈性體密封件
MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準 MFC
60 秒內即可完成新氣體和/或量程的設定操作
測量精度不受溫度變化影響
可輕松訪問診斷端口以實現運行時間
規格緊湊，可輕松集成至緊張的設備空間內；設備改型的選擇
多協議通信接口可簡化向現有系統的集成操作
對翻新后的半導體加工工具中的原有 MFC 進行經濟高效的改型/升級
減少六英寸/八英寸半導體工廠的 MFC 庫存
用于 LED 和功率器件生產的 MOCVD
太陽能/薄膜化學氣相沉積 (CVD) 系統
分析用 OEM 設備
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