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德國 Sentech 低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro,SENpro橢偏儀是橢偏儀應用的智能解決方案。它具有角度計,入射角度步進值5。操作簡單,快速測量和直觀的數據分析相結合,以低成本效益高的設計來測量單層和多層膜的厚度和光學常數。
SENpro橢偏儀是橢偏儀應用的智能解決方案。它具有角度計,入射角度步進值5°。操作簡單,快速測量和直觀的數據分析相結合,以低成本效益高的設計來測量單層和多層膜的厚度和光學常數。
成本效益
SENpro是具成本效益的光譜橢偏儀,同時不影響*測量性能。
可變入射角
光譜橢偏儀SENpro包括可變入射角的角度計,40°—90°,步進值5°,用于優化橢偏測量。
步進掃描分析器
SENpro具有的步進掃描分析器。在數據采集過程中,偏振器和補償器固定,以提供高的橢偏測量精度。
光譜橢偏儀SENpro具有操作簡單,測量速度快,能對不同入射角的橢偏測量數據進行組合分析等特點。光譜范圍為370到1050 nm。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結合,可以輕易地確定單層膜和復合層疊膜的厚度和折射率。
具有成本效益的桌面式SENpro包括可見光到近紅外橢偏儀光學,5°步進角度計,樣品臺、激光準直器、光纖耦合穩定光源和探測器單元。SENpro配備了用于系統控制和數據分析的光譜橢偏儀軟件SpectraRay/4 ,用于包括建模,擬合和報告輸出。即使對于初學者,該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計算機控制的用于均勻性測量的自動掃描。
SENpro專注于薄膜測量的速度和精度,不管是何種薄膜應用。測量范圍從1 nm的極薄層膜到15 μm的厚層膜。
對于各種各樣的應用,SpectraRay/4都提供了預定義的配方。
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