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行業(yè)產(chǎn)品

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北京朗潤(rùn)達(dá)科貿(mào)有限公司


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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列316L

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間:2023-07-02 19:32:10瀏覽次數(shù):167次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

美國(guó)ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體(如:NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。 ......

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品特色


● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制,如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 可選高精度:優(yōu)于0.5%

● 可測(cè)范圍廣, 1~99%

● 響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于100 ms

● 內(nèi)置130種常規(guī)及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體



技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了130種氣體,請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表

                  一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM()

測(cè)量和控制范圍    1~99%

顯示流量    128 %滿量程

可控流量    102.4 %滿量程

顯  示  屏    帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±(0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)

                  ±(0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)(可選),僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復(fù)  性    ± 0.2 %滿量程

零點(diǎn)漂移 & 滿量程漂移    0.02% 滿量程 / ℃ /  Atm

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于100 ms

預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

標(biāo)定工況    25 ℃ & 1 Atm(其它標(biāo)況可調(diào))

工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫至100℃)

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0  ~ 99%,無冷凝

工作壓力    1 MPa 表壓

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80KPaA以上使用;其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率;

                         模擬信號(hào):1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%量程誤差

供電電壓    7 - 30 VDC (如選4-20 mA輸出,須為15-30 VDC )

供電電流    250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢);額外加 40 mA( 4–20 mA )

電氣接口    DB9,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    316L不銹鋼、303不銹鋼、430FRSS、FFKM(Kalrez),可根據(jù)特殊氣體選用Viton、EPDM、Buna、Neoprene

過程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)

*如選Profibus,則無模擬信號(hào),無顯示,其供電電壓及供電電流需來電垂詢



選項(xiàng)配件



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