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Automegasamdri-938, Series C 臨界點干燥儀

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更新時間:2022-11-06 15:22:37瀏覽次數:304次

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產品簡介

Automegasamdri-938, Series C 臨界點干燥儀

詳細介紹

Automegasamdri-938, Series C



產品特點:

  • 新配置的專用“慢充"控制,給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動力學,保護了大多數易脆樣品;

  • 外部配置了PURGE后的過濾裝置,保護樣品,容易更換和后期維護;

  • 采用了的“Vortex Swirl"非機械攪拌,使PURGE而不至于破壞樣品;

  • 高效內部封閉冷卻循環系統,可以快速冷卻腔體溫度,縮短操作時間;

  • 內置SOTER冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣,消除排氣噪音;

  • 的樣品室填塊,可以改變樣品室直徑,減少液態二氧化碳的消耗量和處理時間,并兼容不同尺寸晶圓的處理;

  • 內部過濾系統,過濾流進樣品室的液態二氧化碳,過濾顆粒尺寸達到0.08μm;

  • 一次運行可以處理5片8英寸晶圓,改變樣品室尺寸,每次運行也可以分別處理6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓及10mm方晶;

  • 標配特氟龍兼容的8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個;

  • 垂直樣品室,內腔有照明,樣品室蓋子帶觀察窗;

  • 明亮的LCD觸屏控制;

  • 內置出廠自動運行程序并可創建和保存個性化程序;

  • 所有內部表面適用于CO2,丙酮和超純乙醇;

  • 可以重復設置的參數,確保結果的可重復性;

  • 集成自動控溫和靜態壓力控制模塊,確保自動安全的運行;

  • 潔凈室和防靜電兼容設計;

  • 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;


產品規格: 

  • 外部尺寸:寬19.8" (50.3 cm) × 深31.7" (80.6 cm) × 高44.5" (113.0cm);

  • 安裝占地尺寸:寬27" (68.6 cm) × 深38" (96.5 cm);

  • 樣品室尺寸:內徑8.5" × 深1.25",樣品室容積:1162 ml;

  • LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型計量閥門來控制;

  • 120V/50-60HZ(可選其他電壓);


標準配件:

  • 高壓不銹鋼LCO2管(內襯Teflon) 3 米長;

  • 雙T型過濾裝置,雙重過濾微小顆粒,過濾裝置可預先與LCO2管連接,安裝方便;

  • 安裝工具;

  • 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;

  • 樣品室O型圈3個,樣品室LED照明燈1個,3A和8A保險絲各2個;

  • 5個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括8、6、4、3、2和1.25英寸;

  • 直徑為8、6、4、3、2英寸晶圓樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架各1個,樣品架HF兼容;

  • 用戶手冊;

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