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Automegasamdri-915B, Series B 臨界點干燥儀

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更新時間:2022-10-29 15:41:53瀏覽次數:218次

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產品簡介

Automegasamdri-915B, Series B 臨界點干燥儀

詳細介紹

Automegasamdri-915B, Series B 臨界點干燥儀


特點:

  • 6"圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀;

  • 潔凈室和防靜電兼容設計;

  • 通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性;

  • 所有內表面均適用于液態二氧化碳、高純乙醇和丙酮;

  • 可重復設定的操作參數確保了結果的可重復性;

  • 每個操作模式LED顯示,一目了然;

  • 集成自動控溫;

  • 內置圓盤裂片保證安全;

  • 可以一次干燥5片直徑為6"的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑4"、3"、2"的圓晶或5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);

  • 靜態壓力控制模塊,自動控制系統壓力和保持壓力穩定性;

  • 0.4μm內部過濾器系統輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;

  • 內腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內部狀態;

  • 擁有高效隔熱的冷卻系統,使系統能夠迅速從室溫降到將近0°C;

  • 標配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。

  • 樣品室填塊可以調整樣品室內徑到4"、3",2",1.25",使LCO2的使用效率和處理時間達到;

  • 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;



規格:

  • 外部尺寸:寬14.25" (36.2 cm) × 高11.75" (29.8 cm) × 長25.0" (63.5cm);

  • 占地尺寸:寬42" (107 cm) × 深30" (76 cm);

  • 樣品室尺寸:內徑6.50" × 深1.25",樣品室容積:679 ml;

  • 溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;

  • LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制;

  • 120V/50-60HZ(可選其他電壓);



標準配件:

  • 高壓不銹鋼LCO2管(內襯Teflon) 3 米長;

  • 外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預先與LCO2管連接,安裝方便;

  • SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,降低排氣噪音;

  • 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;

  • 內部的不銹鋼過濾系統和鍍鎳的過濾系統共同保護線路、晶片和閥門

  • 樣品室O型圈3個,樣品室照明燈2個,5A保險絲2個;

  • 4個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6"、4、3、2和1.25英寸;

  • 直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;

  • 流量計,可精確控制BLEED的排氣速率;

  • 用戶手冊;

  • 所有部件一年質保。


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