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科賦樂精密儀器(上海)有限公司


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全金屬數字質量流量控制器/儀表

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具體成交價以合同協議為準

產品型號MODEL EX-550 SERIES

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-12-07 13:53:20瀏覽次數:240次

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產品簡介

MODELEX-550SERIES它是一款全金屬MFC,配備高速繞線傳感器,具有出色的內部開發穩定性

詳細介紹

MODEL EX-550 SERIES

它是一款全金屬MFC,配備高速繞線傳感器,具有出色的內部開發穩定性。
SEMI兼容106mm(可選擇124mm)表面,RS485通信是標準配置。
高精度腐蝕性氣體兼容產品,1.0%SP。

  • 金屬密封結構
  • 高速應答及出色的零點穩定性
  • 0-5V或4-20mA輸入/輸出信號,電源
    可從±15 V或24 V單電源選擇
    □電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器
  • 通過切換旋轉開關,可以使用主機中登記的氣體類型。
    ※流量是與N2氣體的比率計算出的值
  • 標準配備通訊功能(RS485)
  • 符合RoHS?CE標準

EX-550標準規格

形式 質量流量控制器
EX-550C
質量流量計
EX-550M
傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方式 比例螺線管閥門(未通電時關閉)
目標氣體(* 1) N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未列出的氣體換算成N2)
流量范圍(* 2) 10 SCCM~5 SLM
控制范圍(測量范圍) 2~100%(F.S.)
響應速度 總流量控制范圍在1sec內(within±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度 ±1.0%SP(25%FS至100%FS),±0.25%FS(25%FS)
再現性 ±0.2%F.S.
工作壓差(* 3) 50~300 kPa(Ar,CO2:100 kPa~300 kPa)
入口壓力 350kPa(G)
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
溫度 允許周圍溫度 5~50℃
精度保證溫度 15~35℃
允許儲存溫度 -10~60℃
允許環境濕度 10~90%RH (無結露)
氣體接觸材料 SUS316L,磁性不銹鋼,PTFE,Ni-Co
電氣連接 Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準)
HR-10A×2
流量設定輸入信號 0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ)
Or 4~20mA(輸入電阻約250Ω)
流量輸出信號 0~5 VDC(負載電阻10kΩ以上)
or 4~20mA(負載電阻500Ω以下)
數字通信 通過RS485旋轉開關設置地址
所需電源(DC) +15 VDC(±5%)100 mA以下,-15 VDC(±5%)150 mA以下
or+ 24VDC(±10%)180mA以下(MFM都為100mA以下)
接頭 相當于1/4 VCR
安裝姿勢
重量 約800g 約550g

(* 1)干燥氣體,不含腐蝕性成分和灰塵,霧氣等的干凈氣體。

(* 2)流量單位SCCM、SLM是將質量流量換算成0℃、1atm狀態下的體積流量cc/min、L/min值。

(* 3)工作壓差可能因規格而異。

尺寸圖

接線連接

SW1氣體類型分配表


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