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蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司


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WH-SC-01 勻膠機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2022-11-09 16:15:08瀏覽次數(shù):169次

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聯(lián)系人:張小姐

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

該勻膠機(jī)采用觸摸屏設(shè)置可用于直徑28~200mm晶片涂覆,儀器配有“安全開關(guān)按鈕",轉(zhuǎn)速范圍300-8500RPM,可選無(wú)油或有油真空泵等配件。

詳細(xì)介紹

一、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介

WH-SC-01勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝,制版及表面涂覆等工藝,可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計(jì)由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司獨(dú)立開發(fā)完成,具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

勻膠機(jī)快速啟動(dòng)和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速,能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制,三檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后先在低速下進(jìn)行勻膠,之后切換至高速下進(jìn)行甩膠,轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào);實(shí)現(xiàn)啟停可控,轉(zhuǎn)速實(shí)時(shí)觀察等功能。儀器配置“安全開關(guān)"按鈕,當(dāng)進(jìn)行高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),關(guān)上上蓋后,“安全開關(guān)"啟動(dòng),運(yùn)行過(guò)程中,上蓋不能打開。可以起到保護(hù)作用。

點(diǎn)擊下載產(chǎn)品說(shuō)明書

點(diǎn)擊下載外觀設(shè)計(jì)

二、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x技術(shù)參數(shù)

1.轉(zhuǎn)速:硅片4英寸(含)以內(nèi)300-8500RPM;4-6英寸(含)以內(nèi)300-6000RPM

2.時(shí)間控制:1-32767s;

3.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1%;

4.膠的均勻性:±3%;

5.參數(shù)設(shè)定:觸摸屏設(shè)置參數(shù);

6.適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠;

7.電源輸入:AC220V±10V,50HZ;

8.功率:60W;

9.重量:13kg;

10.外形尺寸:300(W)*227(H)*350(D);

11.工作環(huán)境:溫度0℃-40 ℃,相對(duì)濕度<80 %。

臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x外觀圖-正面汶顥臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x側(cè)面圖

三、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x特征圖解

汶顥臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x特征圖解汶顥臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x特征圖解2

①防撞墊②勻膠托盤③觸摸屏④專用吸附盤⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開關(guān)

四、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x操作說(shuō)明

1)選擇合適的專用吸附盤(略小于樣本尺寸),將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘安裝,吸附盤安裝時(shí)一定要插入到底。

2)開啟電源,進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置頁(yè)面。可分別設(shè)置三個(gè)階段轉(zhuǎn)速和時(shí)間,按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時(shí)間,點(diǎn)擊“確定"。

3)進(jìn)入啟動(dòng)儀器界面,放片,要注意放正。打開真空泵,點(diǎn)擊“吸盤"后點(diǎn)“啟動(dòng)",儀器開始運(yùn)行。轉(zhuǎn)速和運(yùn)行階段以及當(dāng)前階段剩余時(shí)間可在顯示屏上實(shí)時(shí)觀察。

4)滴膠,動(dòng)作要快。在階段運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間內(nèi)滴膠完畢,關(guān)上上蓋;隨時(shí)間推移自動(dòng)運(yùn)行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后,安全開關(guān)啟動(dòng),必須等到儀器停止運(yùn)行,上蓋才能被打開。

5)電機(jī)停轉(zhuǎn)后,點(diǎn)擊脫盤,吸片停止。打開上蓋,取下片子。

6)繼續(xù)勻膠時(shí)重復(fù)以上步驟。

8)勻膠結(jié)束后,關(guān)上上蓋,切斷電源。

五、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x維護(hù)清洗

屬下列情況之一時(shí),需要對(duì)抽氣室進(jìn)行清洗

1.正常使用半個(gè)月的;

2.膠被吸入抽氣室的;

3.電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。

六、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x常見故障排除

下列故障非本機(jī)故障,用戶可參考自行解決,若仍不能排除故障,請(qǐng)及時(shí)本公司服務(wù)熱線:

故障現(xiàn)象

原因

排除

電機(jī)不轉(zhuǎn)

1.電源線沒插好

插好電源線

2.保險(xiǎn)管熔斷

換用同規(guī)格新的保險(xiǎn)管

硅片沒吸住

1.吸氣管未插

插好吸氣管

2.真空泵沒開

打開真空泵

七、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x安全注意事項(xiàng)

拆開包裝后,請(qǐng)按照裝箱單詳細(xì)檢查配件,如有缺失,請(qǐng)聯(lián)系銷售商。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下,否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。

操作前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說(shuō)明全部?jī)?nèi)容,并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財(cái)產(chǎn)損失,制造商將不予承擔(dān)。

(1) 安置本儀器的桌(臺(tái))面應(yīng)堅(jiān)實(shí)平整,四只橡膠腳墊應(yīng)與桌(臺(tái))面平穩(wěn)接觸,否則會(huì)產(chǎn)生儀器不平穩(wěn),從而導(dǎo)致超標(biāo)準(zhǔn)的震動(dòng),致使器件損傷或儀器停止運(yùn)行。

(2) 儀器工作時(shí),操作人員不得倚靠在儀器上,非工作人員不得在非安全空間內(nèi)逗留,勻膠機(jī)周圍不得放置危險(xiǎn)物品。

(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盤甩小的樣片就會(huì)產(chǎn)生漏氣,同時(shí)造成膠被吸入抽氣室,導(dǎo)致氣路堵塞。

(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室,要立刻進(jìn)行清洗,否則吸附盤、光電盤、電機(jī)軸會(huì)黏在一起,造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動(dòng),拆卸亦很困難。

(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片,故在啟動(dòng)電機(jī)前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。

(6) 儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時(shí)與銷售商或廠家聯(lián)系,切勿自行打開機(jī)殼。嚴(yán)禁非專業(yè)人員維修,維修時(shí)必須先拔下電源插頭,防止事故發(fā)生。

八、臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x裝箱清單

名稱

單位

數(shù)量

勻膠機(jī)機(jī)體

臺(tái)

1

電源線

1

專用吸附盤4寸

個(gè)

1

勻膠托盤

個(gè)

1

專用吸附盤1寸、2寸、3寸

個(gè)

選配

真空泵

個(gè)

1

   ?6氣管

M

3

使用手冊(cè)

1

質(zhì)檢報(bào)告

1

合格證

1

保修卡

1

無(wú)油真空泵技術(shù)參數(shù)無(wú)油真空泵:又稱干式真空泵,是泵的工作腔內(nèi)沒有任何介質(zhì),可以原汁原味的回收氣體。

型號(hào):AP-550V 

抽速:1.5 升/秒 

功率:320W 

噪音:58db 

電壓、頻率:~220V/50HZ 

真空度:-700mmHg 

重量:5.8kg 

外形尺寸:240×130×200mm



標(biāo)簽:  勻膠機(jī)

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